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特殊气体供应系统技术要求 ★工程概况： 工程名称：开元设备科技有限公司特殊气 体 供 应 和 气 体 侦 测 监 控 管 理 系 统 建设地点 开元设备科技有限公司厂址 ★工程范围： 特气供应系统及气体监控系统主要工作内容如下： 特气气柜供应系统： CH4,0.5%PH3/H2,2%TMB/H2 BSGS 供应系统 : SIH4, NF3, 大宗气体分配系统 : CDA ， AR ， O2 , N2 ，H2 （管路至供气源接口） 动力系统（外围独立气体房的排风系统） UPS 电源系统 气体侦测器系统 气体监控系统 PLC 控制和网络系统 电脑图形控制系统 各个气体房和气体室的气柜排风系统和事故排风系统 废气处理装置的安装和调试，管路衔接。 其他未尽事项详见图纸、技术规范及标单。 注：此工程范围需包含以上但不仅限于以上内容，需投标方自行考虑所有细节。 工程界面协调配合事项： 环氧： 环氧施工完成并经监理及旭双相关人员验收后，所有地面，天花墙壁作彻底 清洁后，本包可入内施工。 地面保护：气体房内地面保护在本包范围内。 电力：电力包提供电源（包括电缆，桥架及接线）到本包各电盘（ 380V Emergency 800A+ 380V Normal 800A ）的进线端。照明由电力包统一规划提供。 接地：各气体房由电力系统提供接点。 消防：提供各气体房之喷淋系统，并预留 DN50 阀门、门禁系统、广播和气体报警系统联 动。 MAU ：各气体房空调。 其他未尽事项详见图纸、技术规范及标单。 第一章 特气供应系统设计要求 1.1 特气供应流程图 1.1.1 特气供气简易流程：本项目使用气柜（以下简称 GC）的气体分别为 0.5%PH3/H2,2%TMB/H2,CH4 ，详情见设备清单表。 G/C气瓶柜VMB/VMPTools机台气体房 洁净室 G/C气瓶柜 VMB/VMP Tools机台 -tx―XI -XI—CXI r^zi . ” 7 7 HX1X 1.12本项目使用大宗特气系统（以下简称 BSGS）供气的气体 SIH4, NF3 气体房洁净室 气体房 esgs 柜 VMB/VMP Tools机台 第二章?特气设备技术要求 ： 气瓶柜（GC） /BSGS，基本功能要求： 1） 所有系统设计都必须遵从 SEMI S2 （半导体工业的全球标准）标准。 2） 更换钢瓶或轻微故障时，不影响气瓶柜和气瓶架向 VMB或机台供气。 3） 无论任何一边钢瓶先上线，都能够自动切换。 4） 更换钢瓶时气瓶柜/气瓶架全自动进行吹扫、保压测试、供应服务。 5） 具有紧急切断功能（EMO ）和三色灯蜂鸣报警功能。 彩色触摸屏控制。 气瓶柜和气瓶架设计要方便拆卸钢瓶和固定钢瓶。 气瓶柜和气瓶架的控制系统都采用西门子或者欧姆龙控制系统，且具有以下扩展功能 具有以太网接口用于上位机通讯以便于实时监控气柜工作状态和实时数据。(如：各气 瓶的重量、压力、管路压力、开断状态，各自控阀的状态，和上位机的通信状态，报警、 运行、故障等)。 远程关闭，气柜之间互相切换，用于当外部故障或气体泄漏等情况发生时，设备自动运 行。 详细具体功能必须经过甲方业主同意认可。 2.1 气瓶柜： 2.11 气瓶柜构造： 气瓶柜面板的厚度大于等于 2.7mm 的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非 易燃的。(颜色为白色) 气瓶柜全表面都不能有震动，不可有锋利的边缘。 气瓶柜的底板厚度大于等于 3.4mm，必须铺有防滑垫片，且固定的钢瓶的链条必须为防腐蚀 的不锈钢链条。 气瓶柜的底面设计要便于放置或移走钢瓶而不必调整钢瓶高度。如钢瓶尺寸有变动，设备厂 商无条件的更改钢瓶 CGA 接头高度。 气瓶柜要可以容纳两个供气钢瓶。 气瓶柜的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈。 气瓶柜进气口要安装灰尘过滤器。 所有气瓶柜标明其供应气体的种类及其浓度，气瓶柜内部所有的管路及阀件应该标明其作 用，例如供气，吹扫或排气。 气柜门构造： 气柜门能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。 气柜门能打开 90 度角以上，以方便正常操作。 所有的气柜门及窗子使用同样的钥匙。 气柜门能平稳地打开及关闭，并具有防关闭功能，闭门器的联接杆方便拆卸。 操作窗口： 操作窗口能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。 操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于 6.5mm，并有金属丝加固的安全玻璃。 窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。 2.14 气瓶柜的排气装置： 气瓶柜排气管的直径必须大于等于 6”SS的管路，并覆盖由 FM论证的ECTFE材料。 排气状态的持续监控信号要显示在控制屏上并与控制器联动，以提供抽风量不足时的停机或 报警选项。 3） 排气管上加装气体侦测器。 2.15 气瓶柜系统设计 1） 盘面的排气管必须保持微量 N2 微漏通过，