洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程.pdfVIP

洁净区尘埃粒子数监测标准操作 编 号 SOP?09?1017 文 件 规程 版 本 2 页码 1/4 编 制 日 期 替 代 ∕ 审 定 日 期 颁 发 质量保障部 批 准 日 期 生 效 年 1 月 20 日 发 放 质保中心 依据：目的：建立洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程 范围：生产车间洁净区、生测室 1. 洁净标准：测试仪器及测试条件。 洁净级别及标准 洁净级别 尘粒数 / 立方米 ≥0.5um ＞5um 100 级 3500 0 10000 级 350000 2000 100000 级 3500000 20000 300000 级 1050000 60000 2. 测试仪器 Y09-9 型激光离子数计数器 3 测试条件 3.1 静态测试：系指洁净厂房的空气净化系统已处于正常运行状态， 生产设备已安装， 室内没有生产人员的测试。 3.2 动态测试：洁净厂房的空气净化系统已处于正常状态，生产设备及生产人员已处 于正常生产状态的测试。 3．3 测试工作应在动态条件下进行。 3．4 采样管为仪器所使用的。 3 ．5 仪器须经预热进入稳定状态后，方可测试记录，每个测试点连续 3—5 次( 即 连续读数 ) 每次检测周期为 2min，采样量 5．66L ／min。 3．6 测试时，对环境测试参数应有记录。 4 、测试点的确定及采样次数 4 ．1 万级、十万级洁净区域的测试，根据洁净区域的面积的大小及形状选择测试点 应遵循。 4 ．1．1 平而面积小于 5 平方米且呈狭长形状的区域，可设 3 个检测点。 如图： ☉ -- ☉-- ☉ ☉ 1 2 3 ☉ ☉ 2 3 4 ．1．2 平均面积大于 5 平方米，小于 30 平方米的区域，可用对角线五点法。 ☉ ☉ ☉ ☉ ☉ 4 ．1．3 平面面积大于 30 平方米的区域可适当增加检测点。 5．测试数据的处理及判断 5.1 如各测试点的测试植均不超过（超过）该洁净级别规定的限度时，即可判为符合 （不符合）洁净级别要求。 1 2 3 m 5．1．1 测试结果取各测试点读数平均值时，按公式