传感器原理第9章磁电式传感器-mooc.pdfVIP

传感器技术 主讲人： 吴琼水 武汉大学电子信息学院 第9章 磁敏传感器 概述 磁敏传感器 磁现象和电现象不同，它的特点之一是磁荷(Magnetic Charge) 不能单独存在，必须是N、S成对存在(电荷则不然，正电荷和 负电荷可以单独存在)。磁感应强度、电场强度、力三者的关 系可由公式表示为 F e(E+v ×B) eE+evB 该式表示运动电荷e在电场E 受到的力和磁场(磁感应强度B) 存在时电流ev(v为电荷速度)所受到的力，其中第二项称为洛 伦兹力(洛伦兹力是磁场对运动电荷的作用力 ，它由荷兰物理 学家H·A·洛伦兹首先提出)。 概述 磁敏传感器  磁敏式传感器将磁场参量（磁感应强度、磁 通）敏感，通过磁电作用将被测量（如振动、 位移、转速等）转换为电信号的器件或装置。 磁敏式传感器是利用半导体材料中的自由电 子或空穴随磁场改变其运动方向这一特性而制 成。 概述 磁敏传感器 磁电感应式传感器 （基于电磁感应原理） 磁敏传感器 霍尔元件 磁敏电阻 磁电效应传感器 磁敏二极管 磁敏三极管 按其结构可分为体型和结型两大类。 体型的有霍尔传感器 ，其主要材料InSb(锑化铟)、InAs （砷化 铟）、Ge （锗）、Si、GaAs等和磁敏电阻InSb、InAs。 结型的有磁敏二极管(Ge、Si) ，磁敏三极管(Si)。 概述 磁敏传感器 磁敏器件是利用磁场工作的，因此可以通过非接触方式检验。 非接触方式可以保证寿命长、可靠性高。  可用于测量磁场，特别是对弱磁场的测量、电流测量、位 移等机械量的检测等。  在电流检测中，作为电流传感器、变送器的检测器件；  转动角度的测量，广泛应用于汽车制造业；  微弱磁场的检测，主要用于伪钞识别；  流量计领域用于电子水表、电子煤气表、流量计等。 1 霍尔式传感器 2 磁敏二极管和磁敏三极管 霍尔元件 霍尔元件 霍尔传感器为载流半导体在磁场中有电磁效应 （霍尔效应）而输出电动势的一种传感器。 随着半导体技术的发展，开始用半导体材料 制成霍尔元件，由于它的霍尔效应显著而得 到应用和发展。 霍尔传感器广泛用于电磁测量电流、磁场、 压力、加速度、振动等方面的测量。 霍尔元件 霍尔元件 一、霍尔效应 霍尔效应是磁电效应的一种，这一现象是美国物理学家霍尔（A.H.Hall ， 1855—1938）于1879年在研究金属的导电机构时发现的。 B d b FL I