E握手流程(中文版).docxVIP

精选范本 精选范本 配布先-COPY 計-SUM 承認-APP 調査-CHK 作成-DRAWN 変更来歴 Rev 内容 承認 0 00.11.2 初版 藤原SSG 佐野 Tra nslated by Don Lee/ASTW/Trai ning Cen ter 2007/01/20 目次 TOC \o 1-5 \h \z \o Current Document 背景 ? 目的 4 \o Current Document E84七E23之不同點 4 \o Current Document 限制 4 \o Current Document 機器構成 4 用語說明 5 控制信號之種類 6 \o Current Document Interlock Timeout 8 通信程序 9 裝載移載 9 卸載移載 11 異常檢測 12 移載動作開始前之異常 12 移載動作中之異常 13 異常 移載動作後之異常 14 GO信號? OFF變化 14 異常之復舊 15 注意事項 15 \o Current Document Connector及各信號之分配 16 \o Current Document 電路圖？ Sensor Unit尺寸 17 精 选 范本 精选范本 精选范本 背景？目的 半導體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之擴大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導入以 AGV/OHT為代表之自 動搬送系統（AMHS的趨勢。AMHSK 製造裝置與 OHV（台車）藉由使用Photo I/O之通信、來取得Load/Unioad 之同步。此Photo I/O 通信係藉由SEMI規格來定義、製造裝置及 OHV需進行遵守此規格的通信控制 。 SEMI規格中、雖定義E23作為上述Photo I/O通信規格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強化之 E84 此E84規格有成為主流的趨勢 。本書係記述E84規格之概要。又，本書之對象係定為進行與 AMHS裝置及半導體 製造裝置間之介面相關的設計 /管理。 E84七E23之不同點 追加/變更於E84之項目如下。 ?連續 Han doff Seque nee ?同時 Han doff Seque nee ? 追加HO_AVBL 信號、ES信號 ? Timer之規定 ? 改訂Conneetor pin之分配 限制 本書僅記述導入於 OHT系統之E84規格 因此、以下項目與該系統不相關故予以割愛 ?連續 Han doff/ 同時 Han doff Seque nee ? 使用於連續 Han doff之Timer 機器構成 圖4.1顯示本規格之 E84 I/O Interfaee的適用例  用語説明 表5.1顯示本書使用之用語 。 表5.1 用語説明 Active 裝置 具備移載機構之裝置。［遵循SEMI E23 規格］ （OHT系統中、OHV屬於Active裝置。） Passive 裝置 藉由Active裝置來進行移載之裝置。［遵循SEMI E23 規格］ Passive裝置包含加工裝置 /Stocker等。 本書中、Passive裝置係與『裝置』同義。 AMHS裝置 (=Automated Material Han dli ng System) 具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置 。 RGV: Rail Guided Vehicles / AGV: Automated Guided Vehicles / OHT: Overhead Hoist Tran sports Auto Access Mode AMHS裝置以自動方式進行 Han doff之模式。 Manual AccessMode Operator以手動方式進行 Han doff之模式。 載體 卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子 。 ［遵循SEMI E1.9 規格］ Han doff 表示藉由Active裝置對Passive裝置進行裝載及卸載之移載動作 。 本書中、係與『裝載/卸載移載』冋義。 Handoff干涉區域 Han doff中Active裝置之載體有可能與 Passive裝置之載體衝突的空間 。 Handoff?lnterlock 異常 Handoff中Passive裝置檢測到異常之狀態 。Active裝置之載體與 Passive裝置之載體、 有可能在Handoff干涉區域 衝突衝突。 無法Handoff利用狀態 Passive裝置無法進行Han doff之狀態。 Loadport 加工裝置 /Stocker 等之 In terface Porto ［遵循 SEMI E15 規格］ Load 從Activ