清净室的污染源.pdfVIP

Http:// E-mail:wcw@ 11 清淨室的污染源 2、“人＂是大污染源之一（表 2-1），在清淨室內隨著動作和衣著之不同， 所產生的污染量亦不同(表 2-2 和表 2-3)。因此，為減少污染，在清淨室內用人愈 少愈佳，且穿著亦需管制。 表 2-1 半導體工廠清淨室內之發塵比 傳統式清淨室 自動化清淨室 人 35% 5% 機 器 25% 45% 材 料 20% 40% 環 境 20% 10% 表 2-2 P