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步进电动机高精度细分方法及其控制系统 叶韦韦 华南师范大学电信工程系 99 级 引 言 本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传 统直流减速电机” 的研究课题。椭圆偏振测量技术是一种测量薄膜厚度和研究其 表面特性的先进方法，具有灵敏度高、精度高、实时和无损样品的优点。在半导 体、光学材料、表面物理、化工、冶金、生物和医学等领域都有重要应用。 传统的椭偏仪由于使用了直流电机，在定位过程中存在自动化水平低、操 作复杂、精度难以保证和成本高（因需要配高精度光电旋转编码器）等不足，为 提高椭偏仪的定位精度和自动化水平， 研制出一种高精度自动定位系统无疑具有 十分重要的意义。 本系统采用步进电机代替直流电机，但现有步进电机的最小步距角还未能 达到本系统的要求， 所以要在步进细分技术上作探讨。 利用步进电机的准确动作 和步进电机的细分技术， 解决椭偏仪的角度与光强必须准确对应关系的问题。 其 中，当步进电动机的细分角度越小， 越有利于提高步进电动机的角位、 点位及连 续控制方面的定位精度，越有利于与计算机联机，实现全自动化控制。同时，还 可以大大提高步进电机的分辨率，大大改善步进电动机在动态运转时的特性。 由于工业技术的不断进步， 在自动化控制、 精密机械加工、 航空航天技术以 及所有要求高精度定位、 自动记录、 自动瞄准等高新技术领域内， 对步进电机的 细分要求也越来越高。 因此，多年来，国内外的同行都在努力寻求步进电动机细分技术的最佳方 案及最高细分精度。 本文所介绍的自动定位系统是在原椭偏仪系统的前提下， 采 用步进电机计算机细分控制技术建立起来的。 一． 一． 步进电机的基本原理 步进电机作为执行元件， 是机电一体化的关键产品之一 , 广泛应用在各种自动化控制系 统中。 随着微电子和计算机技术的发展， 步进电机的需求量与日俱增， 在各个国民经济领域 都有应用。 步进电机是一种将电脉冲转化为角位移的执行机构。当步进驱动器接收到一个脉冲信 号，它就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度 (称为 “步距角 ”)，它的旋转是以固 定的角度一步一步运行的。 可以通过控制脉冲个数来控制角位移量， 从而达到准确定位的目 的； 同时可以通过控制脉冲频率来控制电机转动的速度和加速度， 从而达到调速的目的。 步 进电机可以作为一种控制用的特种电机，利用其没有积累误差 (精度为 100%) 的特点，广泛 应用于各种开环控制。 现在比较常用的步进电机包括反应式步进电机（ VR ）、永磁式步进电机（ PM ）、混合式 步进电机（ HB ）和单相式步进电机等。 永磁式步进电机一般为两相，转矩和体积较小，步进角一般为 7.5 度 或 15 度； 反应式步进电机一般为三相，可实现大转矩输出，步进角一般为 1.5 度，但噪声和振动 都很大。 反应式步进电机的转子磁路由软磁材料制成， 定子上有多相励磁绕组， 利用磁导的 变化产生转矩。 混合式步进电机是指混合了永磁式和反应式的优点。 它又分为两相和五相： 两相步进角 一般为 1.8 度而五相步进角一般为 0.72 度。这种步进电机的应用最为广泛，也是本次细