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2021-03-18 发布于未知
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MEMS 传感器的优化与动态试验导语：?在已经设计的新型MEMS流量传感器的基础上，对其结构尺寸进行了进一步的优化摘要：为了实现液压系统的动态测量，给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据，在已经设计的新型 MEMS 流量传感器的基础上，对其结构尺寸进行了进一步的优化，并对MEMS芯体和优化后的 MEMS传感器进行静态标定。对 MEMS传感器进行动态特性试验，发现新型 MEMS传感器具有低扰动、高频率响应等特点，适合液压系统的动态测量。关键词：MEMS传感器；尺寸优化；静态标定；动态试验前言现代液压技术研究热点由静态特性向动态特性转变。以往的经验证明，静态特性很完善的系统，运行后时常会发生振动、噪音等问题，这主要是由于系统动态特性研究不到造成的。出于种种目的，国内外对管道动特性进行了许多研究。非定常流动的油液，由于其外部表现和内在机理的复杂性，直到现在仍有不少问题未能彻底解决。目前，许多液压系统的设计和分析只能按照定常流动进行，但实际上，系统中出现非定常流动的几率并不亚于定常流动。所以研究并提高传感器的动态性能对实现液压系统动态测量具有重要意义。MEMS传感器的优化与动态试验全文下载