传感器与检测技术任务三：压电式传感器1压电效应及压电材料.pptVIP

电阻式、电感式和电容式传感器都是无源器件，即它们需要电源才能产生与被测量有关的电信号输出，而压电式传感器是将被测量变化转换成材料受机械力产生静电电荷或电压变化的传感器。它是一种典型的有源、双向机电能量转换型传感器或自发电型传感器。压电元件是机电转换元件，它可以测量最终能变换为力的非电物理量，如力、加速度等。压电式传感器具有使用频带宽（零点几赫兹到数万赫兹）、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠、质量小等优点。近年来，由于电子技术的飞速发展，与之配套的二次仪表及低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电式传感器的使用更为方便。因此，在工程力学、 各种动态力、机械冲击与振动测量、生物医学、电声学、宇航等许多技术领域中，压电式传感器获得了广泛的应用。压电式加速度传感器如图3-19所示。 图3-19 压电式加速度传感器 压电效应 1. 压电效应及压电材料 一、 当晶体受到某固定方向拉力或压力的作用时会发生变形，内部就产生电极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；这种现象称为正压电效应。压电式传感器大多是利用正压电效应制成的，如图3-20所示。 图3-20 正压电效应 相反，当对某些物质在极化方向上施加一定电场时，材料将产生机械形变，当外电场撤销时，形变也消失，这种现象称为逆压电效应，又称为电致伸缩。用逆压电效应制造的变送器可用于电声和超声工程。压电效应的可逆性如图3-21所示，利用这一特性可实现机电能量的相互转换。 图3-21 压电效应的可逆性 压电材料 2. 1）石英晶体 石英晶体是一种性能良好的压电晶体。石英是硅石的一种，现在已能人工制造，它的化学成分是SiO2，其晶体单元的形状为六角锥体，如图3-22所示。其突出的优点是性能非常稳定，介电常数与压电系数的温度稳定性特别好，且居里点高，可以达到575 ℃。此外，石英晶体还具有机械强度高、绝缘性能好、动态响应快、线性范围宽、迟滞小等优点。但石英晶体压电系数较小，灵敏度较低，且价格较贵，所以只在标准传感器、高精度传感器或高温环境下工作的传感器中作为压电元件使用。 石英晶体分为天然与人造两种。 石英晶体各方向的特性不同。为了便于研究，人们根据石英晶体的物理特性，在石英晶体内画出三种几何对称轴。连接两个锥顶点的一根轴称为光轴（z轴），它是晶体的对称轴，光线沿z轴通过晶体时，不产生双折射现象，因而以它作为基准轴，又称为中性轴；连接晶体横截面中对角线的三条轴称为电轴（x轴），该轴的压电效应最为显著；横截面中与电轴相互垂直的三条轴称为机械轴（y轴），在此轴上加电场，产生机械形变最大，故又称为力轴。 若从晶体上沿y轴方向切下一块图3-22（c）所示的晶片，当在电轴x方向施加作用力时，在与电轴垂直的平面上将产生电荷，其大小为  qx=d11Fx （3-27） 式中，d11为x轴方向受力时的压电系数；Fx为作用力。 图3-22 石英晶体结构 若在同一切片上，沿机械轴方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为   （3-28） 式中，d12为y轴方向受力时的压电系数，因为石英轴对称，故d12=－d11；a和b分别为晶体切片的长度和厚度。电荷qx和qy的符号由所受力的性质（拉力或压力）决定。qx的大小与晶片的几何尺寸无关，而qy的大小与晶片的几何尺寸有关。图3-23所示为晶体切片在x轴和y轴方向受拉力和压力的具体情况。 图3-23 晶体切片在x轴和y轴方向受拉力和压力的具体情况 如果在片状压电晶体材料的两个电极面上加以交流电压，那么石英晶体片将产生机械振动，即晶体片在电极方向有伸长和缩短现象，这种电致伸缩现象即为逆压电效应。 石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。在每个晶体单元中有三个硅离子和六个氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列，如图3-24所示。图中，“+”表示Si4+，“－”表示O2-。 当不受外力时，正负六个离子（Si4+和O2-）分布在正六边形的六个顶点上，形成三个120°夹角的电偶极矩p1、p2、p3。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 p1+p2+p3=0（3-29） 晶体表面不带电荷，呈电中性，如图3-24（a）所示。 当受到沿x轴方向的压力作用时，晶体受压缩而产生形变，正负离子相对位置发生改变，电偶极矩在y轴、z轴方向上的分量都为零，因此无电荷出现，如图3-24（b）所示。因此无电荷出现，如图3-24（c）所示。 图3-24 石英晶体压电效