洁净区环境监测规程.docxVIP

洁净区环境检测规程 目的 规定洁净区的控制指标和检测方法，有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度，满足生产和检测环境的要求。 范围 本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。 职责 化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。 4.工作程序 4.1 检验项目 温度、湿度、压差、风速（换气次数） 、尘埃粒子数、菌落数。 4.2 温度、湿度 4.2.1要求 洁净区温度（ 18-28）℃，相对湿度（ 45-65） % 4.2.2仪器与设备 温湿度计 温湿度计必须在检定合格周期内 4.2.3操作方法 目测温湿度计 4.2.4测定频次 次 / 班 4.3 压差 4.3.1要求 洁净室与室外压差≥ 10Pa，洁净室与非洁净室≥ 5Pa，不同级别洁净室之间≥ 5Pa。 4.3.2仪器与设备 微压计 微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。 4.3.3操作方法 用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。 4.3.4测定频次 次 / 月 4.4 换气次数 / 风速 4.4.1要求如表 1 所示： 表 1 各级别洁净区风速的技术指标 级别 100 级 10000 级 100000 级 300000 级 风速 水平层流 ≥ 0.4 —— —— —— m/s 垂直层流 ≥ 0.3 换气次数 —— ≥25 ≥ 15 ≥12 次 /h 4.4.2仪器与设备 风速计 风速计必须在检定合格周期内。 4.4.3操作方法 4 4 （高效送风口风速 高效送风口面积） 换气次数 被测房间体积 4.4.4测定频次： 次 / 月 4.5 尘埃粒子数 4.5.1要求如表 2 所示： 表 2 各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标 级别 100 级 10000 级 100000 级 300000 级 尘埃数 ≥0.5 μ m ≤ 3500 ≤350000 ≤ 3500000 ≤ 粒 /m3≥5.0 μ m 0 ≤2000 ≤ 20000 ≤60000 4.5.2仪器与设备 尘埃粒子计数器 4.5.3内容 1）用尘埃粒子计数仪在高度 0.8 米水平面上的位置采样，总采样次数不少于 5 次。 2）最少采样点数目的确定如 3 表所示： 表 3：最少采样点数目 面积 洁净度级别 2 100 级 10000 级 100000 级 300000 级 m ＜ 10 2～ 3 2 2 2 ≥ 10～＜ 20 4 2 2 2 ≥ 20～＜ 40 8 2 2 2 ≥40～＜100 16 4 2 2 ≥100～＜ 40 10 3 3 200 ≥200～＜ 80 20 6 6 400 ≥400～＜ 160 40 13 13 1000 ≥ 1000 ～ ＜ 400 100 32 32 2000 ≥ 2000 800 200 63 63 注：对于 100 级的单向流洁净室（区） ，包括 100 级洁净工作台，面积指 的是送风口表面积；对于 10000 级以上的单向流洁净室（区） ，面积知道 是房间面积。 （ 3）采样点的位置 采样点一般在离地面 0.8m 高度的水平面上均匀布置。 采样点多余 5 点事，也可以在离地面 0.8m 至 1.5m 高度区域内分层分布，但每层不少于 5 点。 采样点分布见附录 A （ 4）采样次数的限定 对任何小洁净室（区）或局部空气净化区域，采样点的数目不得小于 2 个，总采样次数不 得少于 5 次。每个采样点的采样次数可以多余一次，且不同采样点的采样次数可以不同。 5）采样量 不同洁净度级别每次最小采样量见表 4 表 4 最小采样量 最小采样量 洁净度级别 L/ 次 100 级 10000 级 100000 级 300000 级 ≥ 0.5 μm 5.66 2.83 2.83 2.83 ≥ 5.0 μm 8.5 8.5 8.5 8.5 （ 6）采 注意事 于 向流 室（区） ，粒子 数器的采 管口 正 气流方向； 于非 向流 室 （区），粒子 数器的采 管口宜朝上。 布置采 点是 尽量避开 口。 采 ， 人 在采 口的下 ，并尽量少活 。 采 完 后，宜 粒子 数器 行自 。 采取一切措施防止采 程的 染。 4.5.4采 果的 算 （ 1）采 点的平均 浮粒子 度 A 采 点的平均 浮粒子 度 A 的 算公式： 式中： A—某一采 点的平均粒子 度，粒每立方米（粒 /m 3） Ci—某一采 点的粒子 度（ i=1,2,3，?， n） ,粒每立方米（粒 /m 3） n—某一采 点的采 次数，次 （ 2）平均 的均 M 平均 的均 M 的 算公式： 式中： M—平均 的均 ，即 室（区）的平均粒子 度，粒每平方米（粒 /m 3） Ai—某一采 点的平均粒子 度（ i=1,2,3