洁净实验室空调系统.docxVIP

为了使洁净室内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数，最常用的方法 是向室内不断送入一定量经过处理的空气，以消除洁净室内外各种热湿干扰及尘埃污染。 为获得送入洁净室具有一定状态的空气，就需要一整套设备对空气进行处理，并不断送入 室内，又不断从室内排出一部分来，这一整套设备就构成了洁净空调系统。通过阅读本文 如果还有问题没有解决，请及时咨询博森科技官方客服。 基本构成 1、加热或冷却、加湿或去湿以及净化设备； 2、将处理后的空气送入各洁净室并使之循环的空气输送设备及其管路； 3、向系统提供热量、冷量、热源、冷源及其管路系统。 洁净空调系统一般分为三大类 1、集中式洁净空调系统：在系统内单个或多个洁净室所需的净化空调设备都集中在 机房内，用送风管道将洁净空气配给各个洁净室。 2、分散式洁净空调系统：在系统内各个洁净室单独设置净化设备或净化空调设备。 3、半集中式洁净空调系统：在这种系统中，既有集中的净化空调机房，又有分散在 各洁净室内的空气处理设备。是一种集中处理和局部处理相结合的形式。 人们一般按系统内各洁净室的洁净度来命名系统，如称之为 100 级净化空调系统， 1000 级净化空调系统等。有时也按系统的末级过滤器的性质来区分，分高效空气净化系 统，亚高效空气净化系统和中效空气净化系统。 洁净室空调系统的特点 洁净室 (Clean Room) ，亦称为无尘室或清净室，就是指为保持“室内要求的洁净度等 级”采用高效空气过滤器 HEPA(High Efficiency Particulate Air) 或超高效空气过滤器 ULPA(Ultra Low Penetration Air) 等尽力创造的室内空间。洁净室按用途分类（可分为两 大类） :工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的 污染，内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路 等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产） LCD （液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业 ,按照美国联邦标准 Fed ?STD ? 209B ，规定的室内空气洁净度以粒径等于及大于 0.5 μm 的悬浮尘粒浓度为基准，按每 ft3 空气中尘粒数分为 100 ～ 100 ，000 级；生物洁净室，主要控制有生命微粒（细菌）与无 生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为 :一般生物洁净室，主要控制微生物（细 菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。生物学 安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负 压。 首先，洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等 所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用 HEPA 、 ULPA 过滤空气，其 尘埃的收集率达 99.97~99.99995% 之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。 然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持 洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。洁净室内的气流是左右洁净室 性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选 0.25~0.5m/s 之间，此气流速度属微风区 域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁 净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时， 能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。另一方面欲达到洁净 室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速 有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困 难。垂直层流式方向要保持均一气流必须： 吹出面的风速不可有速度上的差异； (b) 地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高 (0.2m/s ， 0.7m/s) 均有涡流之现象发生，而 0.5m/s 之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取 在 0.25~0.5m/s 之间。 影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁 净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因 素。 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距 2/3 之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分 流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后， 作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。 洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将 会较差，