硅片设备行业深度研究与发展专题报告-蓝海板块迎风而上.docx

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? ? ? ? ? 硅片设备行业深度研究与投资专题报告 蓝海板块迎风而上 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1、光伏级向半导体级拓展是晶硅生长设备厂的成长之路 1.1. 半导体硅片对于纯净度的要求高于光伏硅片 硅片是半导体和光伏的上游重要材料,光伏硅片和半导体硅片的主要区别在于纯净 度要求不同。光伏级硅片纯度要达到“6-8 个 9”,即 99.999999%;而半导体级硅片纯度 要达到“9-11 个 9”,即 99.99999999999%,区熔级(FZ)半导体单晶硅更是要达到“12 个 9”以上的高纯度级别。另外,由形状不同、制作工艺不同而衍生出来的相关设备不 同的问题较为容易解决,因此光伏级硅片和半导体级硅片的主要差异集中在纯净度上, 半导体级别硅片可以理解为要求更高的光伏硅片。由于材料、工艺的相近,由光伏向半 导体渗透是硅片厂及硅片设备厂的成长之路。 1.2. 内生:晶盛机电横跨光伏级、半导体级硅单晶生长设备领域 在主营业务晶体硅生长设备方面:晶盛机电从半导体级硅片设备开始尝试,但初期 实际形成收入的业务主要来自光伏级硅片设备。(1)晶盛机电成立初期就开始研发半导 体硅片设备:2007 年,晶盛机电实现公司首台、也是国内首台直拉式单晶硅生长炉的生 产,并销售给有研半导体。2009 年,公司获得国家科技重大专

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