sem和eds的现代分析测试方法.ppt

第二章 电子探针显微分析仪 (EPMA) 第一节 概述 材料的现代分析测试方法 材料的现代分析测试方法 第一章 扫描电子显微镜 (SEM) 第一节 概述 第二节 电子束与固体样品 相互作用 一．背散射电子 二．二次电子 三．吸收电子 四．透射电子 五．特征Ｘ射线 六．俄歇电子 七．阴极荧光 八．电子束感生电效应 １．电子束感生电导信号 ２．电子束感生电压信号 第三节 SEM 工作原理 第四节 SEM 的构造 一 . 电子光学系统 组成 : 电子枪 , 电磁聚光镜 , 光阑 , 样品室等 . 作用 : 用来获得扫描电子束 , 作为 使样品产生各种物理信号的 激发源 . 1. 电子枪 2. 聚光镜 ( 电磁透镜 ) 3. 光阑 4. 样品室 用于 SEM 的电子枪有两种类型 热电子发射型 : 普通热阴极三极电子枪 六硼化镧阴极电子枪 场发射电子枪 : 冷场发射型电子枪 热场发射型电子枪 几种类型电子枪性能 二 . 扫描系统 组成 : 扫描信号发生器、放大控制器等 电子学线路和相应的扫描线圈。 作用 : 提供入射电子束在样品表面上以 及阴极射线管电子束在荧光屏上 的同步扫描信号 ; 改变入射电子 束在样品表面扫描振幅，以获得 所需放大倍数的扫描像。 三 . 信号检测放大系统 作用：检测样品在入射电子束作 用下产生的物理信号，然 后经视频放大，作为显象 系统的调制信号。 检测器类型 1. 电子检测器：由闪烁体、光导 管和光电倍增器组成。 2. 阴极荧光检测器：由光导管、 光电倍增器组成。 3. X 射线检测系统：由谱仪和检测 器两部分组成。 四 . 图象显示和记录系统 组成：显示器、照相机、打印机 等。 作用：把信号检测系统输出的调 制信号转换为在阴极射线 管荧光屏上显示的样品表 面某种特征的扫描图象， 供观察或照相记录。 五 . 电源系统 组成：稳压、稳流及相应的安全 保护电路等。 作用：提供扫描电子显微镜各部 分所需要的电源。 六 . 真空系统 组成：机械泵、扩散泵、电磁阀 及相应的真空管路等。 作用：建立能确保电子光学系统 正常工作、防止样品污染 所必须的真空度。 第五节 SEM 的主要性能 一 . 分辨率 分辨率的主要决定因素 : 1. 电子束斑直径 2. 入射电子束在样品中的扩展效应 3. 信噪比 漫散射 漫散射的深度与原子序数有关 二 . 放大倍数 显微镜的放大倍数 : 象与物大小之比 TEM 和 OM: M 总 =M １ M ２ …… Ｍ ｎ 式中： M １ …… Ｍ ｎ —— 各个透镜的放大倍数 n —— 透镜数目 SEM 中透镜的作用： ? 缩小电子束交叉斑 ? 总的缩小倍数： M 缩小 =(1/ M １ ) ·( 1/ M 2 )…… ( 1/ M n ) SEM 图象放大倍数 : 显象管荧光屏边长 . 电子束在试样上 ( 相同方向 ) 扫描宽度 三 . 景深 第六节 SEM 的样品制备 ? SEM 对样品的最重要的要求是 样品要导电 . 一 . 导电材料试样制备 二 . 非金属材料试样制备 三 . 生物医