低温压力传感器的研制-2019年精选文档.docx

低温压力传感器的研制 】 The paper introduces the development process of low temperature absolute pressure sensor ， titanium alloy-silicon-sapphire ， ceramic sealing component ， low temperature cable and pin connection are used in the sensor. Through the material selection ， structure design and optimization ， the overall low temperature tolerance and the absolute pressure sealing cavity reliability of the sensor are improved. A low temperature pressure sensor with a range of (0〜500) kPa， a precision of no more than 0.2%FS， a thermal excursion of no more than 0.03%FS/ DEG C， and a range of operating temperature of (-100 〜200) DEGC was developed ， the sensor can be used for the direct measurement of the pressure of ionizing and corrosive high or low temperature media. 【？P键词】硅-蓝宝石；低温；绝压；传感器 Keywords 】 silicon-sapphire ； low temperature ； absolute pressure ； sensor i=r 可用于制作低温压力传感器的材料主要包括：溅射薄膜、SOI 和硅-蓝宝石。溅射薄膜压力传感器是利用 AI2O3或SiO2隔离金 属电阻体应变效应制作的，具有温度系数小、稳定性高等特点， 但灵敏度较低，有相关文献介绍，最低工作温度为 -200C； SOI压力传感器采用SiO2介质隔离硅压阻效应制 作的，有相关产品介绍，最低低温工作为-195.5 C,具有体积小、 精度高等特点， 但不适合电离性、 腐蚀性气体或液体压力的测量； 硅-蓝宝石压力传感器采用 AI2O3介质隔离硅压阻效应制作的， 具有耐高低温、可靠性高等特点，有相关文献介绍，蓝宝石材料 最低工作温度为-270C。采用这些材料可以制作耐低温压力传感 器，但传感器的整体耐低温结构和封接设计是其能长期在低温下 工作的关键。国外在低温压力传感器产品已经达到了工业化水 平，我国的低温压力传感器受材料和工艺水平限制与国外同类产 品的水平尚存在差距 [1] 。 本文针对可用于低温压力传感器绝压密封和低温工作可靠 性的问题， 基于国产原材料耐低温能力和工程化水平， 进行耐低 温材料和结构研究与设计， 研制能在电离性、 腐蚀性低温介质 长期工作的硅 -蓝宝石低温压力传感器。 传感器结构 低温压力传感器是依据硅压阻效应原理，采用硅 -蓝宝石介 质耐低温材料制成的 [2] 。为了提高传感器的可靠性， 压力-应变 弹性元件是钛合金金属膜片和蓝宝石复合结构， 钛合金材料在低 温条件下拉伸变形能力有明显的提高、 另外钛合金具有很强的抗 腐蚀能力，因此钛合金 -硅-蓝宝石压力传感器可用于测量电离性、腐蚀性低温介质压力。传感器结构简图如图 1 所示。传感器 由压力敏感组件、密封组件、引压接口、信号引出线组成。膜片 的形变通过硅 - 蓝宝石压力敏感芯片上的惠斯登电桥的电阻变化 将压力信号转换为电信号。通过密封组件和真空焊接工艺装配， 形成背面感压、 正面密封的密封真空参考腔， 实现绝压传感器的 封装。 钛合金弹性膜片包括双 E型、E型和C型结构，通过选择膜 片形式、改变弹性膜片的厚度等可以设计出用于不同量程的压力 敏感组件。量程为（0〜500） kPa的传感器，为了提高传感器的 线性、灵敏度一般采用 E 型双金属膜片结构。 压力敏感组件由上、 下金属膜片和硅 - 蓝宝石压力敏感芯片组成，上、下膜片由钛合 金材料制成弹性膜片在压力作用下产生形变；下膜片承受均布 力，下膜片中心位移通过中间刚性连接杆传递给上膜片， 上膜片 承受集中力， 通过 E 型双金属膜片结构进行压力 - 应力线性转换。 首先根据理论、 综合考虑抗过载等因素的影响进行弹性膜片结构 设计，要保证传感器弹性膜片上应变电阻位置的最大径向应变输