液晶面板18MΩ·cm超纯水脱碳脱氧工艺优化设计.docxVIP

液晶面板18MΩ·cm超纯水脱碳脱氧工艺优化设计 1.工艺设计 1.1质量水质 该工程为某高世代液晶面板项目超纯水制备系统（不包括回收系统），以市政自来水为原水，处理规模2250m3/h。市政自来水水质如表1所示，设计超纯水水质如表2所示。 1.2工艺流程 本着功能性、安全性、可靠性、经济性的设计原则，结合水质特点选择了如下工艺流程：原水池→原水泵→热交换器→石英砂过滤器→过滤水池→过滤水泵→活性炭过滤器→阳床→脱碳塔→阴床送水泵→阴床→去离子水池→RO送水泵→UV杀菌灯→保安过滤器→RO高压泵→RO系统→RO水池→MB送水泵→MB系统→0.45μm过滤器→脱氧模→纯水箱→纯水泵→TOC去除灯→热交换器→抛光混床→0.1μm过滤器。 1.2.1工艺流程说明 根据表1和表2的数据，可选择合适的工艺单元和工艺路线，满足产水水质要求的同时降低投资成本和运行成本。 該工程的亮点在于后段纯水系统针对电阻率、TOC、DO 3个重难点水质指标进行了优化设计。 （1）原水的电导率较低，产水电阻率要求是18MΩ·cm，制成系统主体工艺可采用“2B3T→单级RO→MB”，经过试验研究，选择经济可靠的进口优质离子交换树脂，保证电阻率稳定达标的同时降低了投资成本。 （2）产水TOC的要求是50ppb，抛光系统中采用一级TOC-UV工艺，经过试验研究，选择经济可靠的进口优质TOC-UV，保证TOC稳定达标的同时降低了投资成本。 （3）产水DO的要求是50ppb，制成系统末端采用一级脱气膜工艺。每组脱气膜的进出口装有切断阀门，备用的脱气膜可以每组共用，减少投资成本。 1.2.2主要设备设计参数 该工程水量较大，主要设备数量设计采用“N+1”原则，辅助设备可不备用，所有管道、阀门选择合适材质，高压部分宜选用SS304或SS316材质，低压部分选用UPVC材质。 （1）多介质过滤器、活性炭过滤器（砂滤、炭滤）。在系统最前端设置砂滤、炭滤进行预处理，满足后续工艺进水要求。该工程采用压力型过滤器，15+1设计，容量185m3/h/套，φ3600×H2400mm，材质碳钢，内衬橡胶，反洗周期24h。砂滤、炭滤的清洗后段排水较为洁净，该工程直接回收至原水池，降低自来水用量。 （2）阳离子交换塔、脱炭酸塔、阴离子交换塔（2B3T）。2B3T系统的树脂塔采用复床式填充。将同性（阳性或阴性）的弱、强不同类型的树脂分别填充在同一树脂塔的上、下填充层。 该工程采用“15+3”设计，185m3/h/套，φ3000×H4000mm，材质碳钢，内衬橡胶，再生周期36h。强阳、弱阳的树脂量分别是*****L、5800L，强阴、弱阴的树脂量分别是*****L、7000L。同时使用LCV阀控制脱碳塔进水流量，维持水箱恒定液位，避免溢流或输送泵频繁起停。 （3）UV杀菌装置。UV杀菌灯的主要目的是去除水中的细菌。在UV杀菌灯的进出口及旁通各配有一个截止阀用于调节流量，同时配备的辐射剂量为*****μwS/cm2，在机身上制作报警指示灯，在程序中设置时间累计器。对UV杀菌灯的选用材质为：SS304材质，可连续运行8000h以上，达到更换时间时可在不停水的情况下更换。 （4）反渗透装置。前段有2B3T装置，水质已达2μs/cm左右。该工程的反渗透装置更大的作用是去除水中的TOC。该工程采用“17+1”设计，每套反渗透装置单独设置高压泵并配置变频器，以实现高压泵的变频启动和节能。反渗透膜采用超低压膜，降低系统能耗，两段式设计（18：6），回收率高达90%。同时反渗透装置配有在线化学清洗装置。 （5）混床装置。混床是将阴阳离子交换树脂按一定比例混合均匀，离子交换后，生成等物质量的H+和OH-相结合又生成水，使反应具有不可逆性，提高出水水质。该工程采用“12+1”设计，185m3/h/套，φ2400×H2400mm，材质碳钢，内衬橡胶，再生周期168h。阳、阴的树脂量分别是1880L、3800L。经过混床精制的RO水电阻率可以达到18MΩ·cm。 （6）脱气膜装置。脱气膜是利用扩散的原理将水中的气体氧气去除的膜分离产品。管道、法兰、阀门均采用PVC-U材质或不锈钢材质。该工程采用40inch-X40脱气膜，配有真空泵，氮气吹扫模式，3支/单元，每组进出口装有切断阀门，备用的脱气膜可以每组共用，减少投资成本。 （7）TOC-UV灯。TOC-UV是一种利用185nm紫外线去除水中有机物的装置。本体采用SS316材质，配有信号输出功能，方便集中控制。UV装置安装在支架上，管道、法兰、阀门采用SS316材质。 （8）抛光混床