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空气洁净度等级标准及规范
空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准, 都规定了有关的
洁净度等级。例如:美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于 1984 年颁布《洁净厂房
设计规范》 (GBJ73-84 ),1996 年该规范进行较大的修改, 1990 年颁布《洁净室施工及验收
规范》 (JGJ71-90 )以指导施工和验收的重要文件。目前,该规范在重新修订中。
GBJ73-84 规定的洁净度等级
等级 每立方米(升)空气中》 0.5 μm尘粒数 每立方米(升)空气中》 5 μm尘粒数
100 《35*100 (〈3.5 〉
1000 《35*1000 (〈35〉 《250 (〈0.25 〉
10000 《35*10000 (〈350 〉 《2500 (〈2.5〉
100000 《35*100000 (〈3500 〉 《25000 (〈25 〉
ISO 1644 国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
等于或大于相应粒径的最大允许浓度(粒 /m 3 )
0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1 μm 5 μm
ISO1 10 2
ISO2 100 24 10 4
ISO3 1000 237 102 35 8
ISO4 10000 2365 1018 352 83
ISO5 100000 23651 10176 3517 832 29
ISO6 1000000 236514 101763 35168 8318 293
ISO7 351676 83176 2925
ISO8 3516757 831764 29251
ISO9 8317638 292511
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级 还有著名的美国联邦标准(;
3 3
2,ISO1644 的 ISO5 相当于, ≤3.5 颗/升,或 100 颗/ft ,或 3530 颗 /m )
3,洁净度等级在 100 级以下者( 1000, 10000 级等)通常用 0.5 μm粒径考核的居多;
4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表) ,对
粒子检测仪器的要求当然也越来越高, 对洁净室设计和施工方而言, 在验收时, 可能不止用
一个粒径(如 0.5 μm)而要用到更多的粒径,如 0.3 μm 0.2 μm甚至 0.1 μm
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