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一． 软件操作。 1． 封闭工艺 第一步；在软件 system（设施）界面点击 contol（控制）按钮。 第二步：在软件 contol（控制）界面中，recipe(工艺方案 )中点击 stop(停 止)按钮 ---封闭工艺，transport(传输 )中点击 stop(停止内外部传输 )按钮 ---封闭传输。 第三部 :点击 back(退出 )按钮，返回到 system（设施）界面。 2． 设施降温。 第一步：在软件 system（设施）界面中，点击 process chamber(工艺腔)按钮。 第二步：在软件 process chamber(工艺腔 )界面中，点击 parameter(参数)按钮。 第三步：降温。在软件 parameter(参数 )界面，将 stand-by（待机）温度由 400℃更改为 0℃，并点击 save 按钮。 第四步：在软件 parameter(参数 )界面，并点击 save---back按钮，返回 process chamber(工艺腔 )界面。 第五步：在软件 process chamber(工艺腔 ) 界面中，点击 system（设施） 按钮，返回 system（设施）界面。 3． 腔体充氮气。 第一步 :在 system（设施）中，点击 pumps(真空泵状态 )按钮。 第二步：封闭角阀。在软件 pumps(真空泵状态 )界面中，点击 standby 待 机 (process chamber)—standby(load chamber)—standby(unload chamber)按钮。 第三步：补充氮气。在软件 pumps(真空泵状态 )界面中，点击 vent(补 充氮气 )按钮，包括工艺腔，进料腔， 出料腔，直到＞ 900mbar 的指示 灯变绿，补氮工作结束。 第四步：在 pumps(真空泵状态 )界面中，点击 back 按钮，返回 system （设施）界面。 4． 翻开腔体盖板。 第一步：当腔体温度到 250℃以下时，在 system（设施）界面中，点 击 cover control(盖板控制 )按钮。 第二步：在 cover control(盖板控制 )界面中，依次点击 cover1(盖板 1)—cover2(盖板 2)—cover3(盖板 3)—cover4(盖板 4)—open 按钮。 第三步：在操作键盘上，同时按 push-buttons按钮，直到盖板完全打 开不再移动时才松手。 二．拆卸作业 1．拆卸石英管 第一步：先拆掉微波产生器外部的盖子。 第二步：拔出每一侧与微波产生器相连的铜制天线（约 80mm 长）， 共 16根。 第三步：踩在工艺腔表面， 使用铁锤砸断石英管，用半月形扳手旋送 石英管卡头，却下共 8 根石英管。注意：砸断石英管时小心内部的铜 管不要破坏。 2．拆卸沉积槽 使用活动扳手依次拆下沉积槽上螺母，小心取下沉积槽。 三．清洁作业 1． 清洁等离子体源 /工艺腔盖板 第一步：用真空吸尘器先将上面附着的杂质祛除， 也可用钢丝刷和砂 纸消除那些真空吸尘器难以祛除的附着比较严重的部分。 第二步：查察所有出气口的气孔（直径为 1mm）是否被堵死，如有 堵塞情况可用 1mm 的钻孔机或细针将其疏通，可松动螺丝钉随和体 连结口将堵塞的部分卸下并单独进行清洁或改换。 2． 工艺腔体清洁 第一步：使用真空吸尘器清洁腔体内氮化硅粉尘与碎硅片。 第二步：使用沾有无水乙醇的无尘布清洁密封圈。 注意：指定一个方向擦拭密封圈 3-4 遍。 3． 沉积槽清洁 使用刮刀清洁沉积槽表面附着的氮化硅。 4． 沉积槽安装 依次将沉积槽安装在工艺腔腔盖上。 四. 改换作业 改换石英管。 第一步：将拆下的石英管配件使用无水乙醇冲洗， 检查是否适合真空操作（如有必要可从备件中找寻并改换） ，在冲洗完所有的备件后请按下列图所示的次序进行装配。 第二步：将石英管按下列图所示用力挤压插入到准备好和铝罩中， 在此过程中可滴入酒精作为润滑。 第三步：将石英管内的铜管正确的放入聚四氟乙烯的支持圆盘中。 第四步：将两侧的卡口互锁插头滑至石英管的两端。 第五步：在酒精的帮助下将石英管的另一端插入已准备好的第二个铝罩中并同时将铜质内部导体放入第二个聚四氟乙烯的支持圆盘中。 第六步：将装配好的石英管上的卡口固定在法兰上， 再用半月形工具先嵌入卡口互锁插头的孔中然后再逆时针旋转将其拧紧。 (注意 :卡口接头和法兰的直径之间允许的误差范围为 0.1-0.2mm) 第七步：把两侧微波发生器上的铜天线插入， 检查石英管中的铜导管是否无脱落现象，检查完成，将腔体中的维修工具搬出，维护人员撤退。 五．确认作业。 1．开泵。测试真空。 第一步：开泵。在软件 pumps(真空泵状态 )界面中，点击 evacuate(抽