电阻式蒸发镀膜机具体操作说明书.docxVIP

出色文档 出色文档 PAGE PAGE11 出色文档 PAGE 实用规范 电阻式挥发镀膜机技术员培训文件 §申明§：此镀膜机为专业范围使用镀膜设备，要由经过专业培训的镀膜技师操作此设备，关于操作人员误操作而形成的机械故障和泵、腔、电器故障及破坏我司将不予负责。 一、设备开机的具体操作次序 我厂生产镀膜机为手/自动可切换型镀膜设备。下边先讲一动手动开机和自动开机的具体次序，《手自动关机待看题目第四项》 1、手动开机（预机）（预：预热。机：设备：） ①、开始在开机前检验冷却水、空压机、反响气体、硅油油量、机械泵油、线缆接洽能否松动、等等辅佐设备。 ②、待①全部项以判定，而后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，此时设备已经进入通电待机状况，而后点击触摸屏上的“保持泵”图象按钮，掀开保持泵。带真空到达15Pa时（1.5x10°Pa）再点击触摸屏上的“分散泵”图象 按 钮掀开“分散泵”《曲折线构成红色》待加热 90分钟，开机（预机）达成。 2、自动开机（预机）（预：预热。机：设备：） ①、开始在开机前检验冷却水、空压机、反响气体、硅油油量、机械泵油、线缆接洽能否松动、等等辅佐设备。 ②、待①全部项以判定，而后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，此时设备已 经进入通电待机状况， 而后点击触摸屏上的“参数设定”键， 按下后会自 滚动出一个新的画面，再点击新画面上的“自动开关机”键，紧接着又会弹 出一个自动开关机设定画面，而后点击自动开关机设定画面上的 “启用自动 开机键”?《注1:！要先设定开关机时间再点击按钮》 ?《时间制式为24 小时制，如时间与目前时间不一致，也可经过左下方“时间调理”来调养时间》，此时已经启用自动开机（预机）,预机需要90分钟，时间一到触摸屏会提示开机达成。 文档 实用规范 注2?：自己认为自动开机对初学者供给一个比较好的次序教材，初学者应在“自动”实施的时候看其次序操作，可在个中学到开关泵、阀门、和开关以上两点的真空度要求等等。因此在此自己提示一下初学要好勤学好美丽，如因自己学、识程度不足误操作设备出现的故障，我企业将是不会纳入保修以内的。是要格外的收费的呦。牢记！ 二、抽闲（抽真空） 1、手动抽闲的顺序《此操作是正常抽闲镀膜，不包含冷机抽闲》 ?注3?：抽闲以前应先检验腔体炉门能否关好，触摸屏的 V5阀能否处于关 闭 状况，机械泵油、线缆接洽能否松动、转架能否正常、炉体洁净、装载铝丝、装载工件、等等！ 待以上工序检验完成确保无误后，开始点击触摸屏上的“粗抽泵1”和“粗抽泵2”图象按键，掀开粗抽泵。开泵以后待10秒钟！再点击触摸屏上的“V1”阀图象按键，掀开“V1”阀《粗抽阀》进入粗抽状况。紧接的点击触摸屏上 的“真空计”按键，掀开“真空计”。待真空度抽到600Pa时！《注4：真空度的换算自己会在下边注解》再点击触摸屏上的“罗茨泵”图象按钮，掀开“罗茨泵”。保持在粗抽状况。待真空度抽到2Pa以下时！将触摸屏上掀开的V1阀“封闭”！待完整封闭后《正常封闭需要2秒钟》再点击触摸屏上的“V2” 阀图象按钮，掀开“V2”阀，紧接掀开“V2”阀3秒后，再点击触摸屏上的“V3”阀图象按钮，掀开“V3”阀。此时已经进入精抽状况。待真空度抽到本体真空就可以够镀膜了。《正常电阻式挥发镀膜机的本体真空设定在0.02Pa 0.05Pa之间。“本体真空”：就是镀膜所需要到达真空度，就是白话所讲的到达这个真空度才能镀膜。》 文档 实用规范 “注4：真空度的换算” “真空”是指小于大气压力的空间的总称。单位： Pa（帕斯卡） 在这里自己所讲的是如何将空间看不到的压力构成用数字来直观的看到，如 何将其书面模式书写出来真空度与真空计上显现的一致。 举例：书写模式1000Pa、 100Pa 、 10Pa 、 0Pa 、 显现模式 1.0x103 Pa、 1.0x102 Pa 1.0x101 Pa 1.0x10°Pa 书写模式 0.1Pa、 0.01Pa 、 0.001Pa 、 显现模式1.0x10ˉ1 Pa 1.0x10 ˉ2 Pa 1.0x10 ˉ3 Pa 读： “1000Pa” 一千帕、 ‖ “1.0x103 Pa” 一点零乘十的三次方帕 以上是以帕为单位，真空另有另一个单位“托” ，托与帕的换算以下： 1 托=133帕 2、自动抽闲 ?注3?：抽闲以前应先检验腔体炉门能否关好，触摸屏的 V5阀能否处于关 闭 状况，机械泵油、线缆接洽能否松动、转架能否正常、炉体洁净、等等！ 自动抽闲自己在这里就不多讲了，自动是由PLC编程完成的，我企业已将实施次序写入了编程，包含：抽闲、镀膜、关阀放气（腔内充气）但开关阀门和机械泵需要一个外面的真空点设置，此点就在真空计上，因此操作人员只需知道如何调养真空点的方式便可。真空计上一共有6个设置点，个中有两个没实用到，