先进制造技术——微机电系统.pptVIP

微机电系统(MEMS);一、MEMS技术的历史;F;聚合物薄膜;真空微电子平板显示器;二、引 言;;三、MEMS概念;;硅微齿轮;弧形梳齿 ;硅微转子;硅微槽;硅微梁;硅微梁;硅微转动器;硅微拖动器;硅微桥;硅微桥;硅微琴;已经制造出尖端直径为5?m的可以夹起一个红细胞的微型镊子;四、MEMS制造工艺;（1）化学腐蚀; ;（3）LIGA工艺 Lithograpie(光刻)、Galvanoformung(电铸)、Abformung(塑铸) ;LIGA工艺;五、MEMS的分类;MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景;空间应用 用作运行参数测量的微加速度计已进行了地面辐照实验，正在进行飞行搭载实验 微陀螺、微推进和微喷管等微系统基础研究 通信方面 光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展 无线通信则要求增强功能（如联网等）和减小功耗。包括美国朗讯公司在内的一些公司和大学正在研究全光通信网用的微系统及无线通信用射频微系统;1、微传感器： 机械类：力学、力矩、加速度、速度、角速度(陀螺)、位置、流量传感器 磁学类：磁通计、磁场计 热学类：温度计 化学类：气体成分、湿度、PH值和离子浓度传感器 生物学类：DNA芯片;电容式微加速度计;微惯性传感器及微型惯性测量组合能应用于制导、卫星控制、汽车自动驾驶、