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臭氧灭菌的浓度(C)：根据臭氧灭菌的效率和《消毒技术规范》（2012版，2012年8月1日起实施），臭氧空气消毒：臭氧对空气中的微生物有明显的杀灭作用，采用20mg/m3浓度的臭氧，作用30min，对自然菌的杀灭率达到90%以上。用臭氧消毒空气，必须是在封闭空间，且室内无人条件下进行，消毒后至少过30min才能进入。可用于手术室，病房，工厂无菌车间等场所的空气消毒。
臭氧的半自然半衰期(S)参比状态下为20min左右；1h的衰退率约为62.25％；设计、应用臭氧灭菌40~60min到相对浓度后，继续保持一段时间(1～1.5h)，即可达到对机器设备和建筑物体表面沉
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