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液晶车间灌晶工序操作培训教材康惠(惠州)半导体有限公司液晶显示器厂 生产工艺部 江龙LCD生产流程简介1目录灌晶工序设备简介2灌晶原理简介3灌晶操作流程及工艺参数4灌晶主要不良及改善5LCD前段流程（光刻+烧结）LCD后段序流程（液晶+测试+贴片）LCM模块生产流程1-1 LCD生产流程插片PR前清洗涂感光胶前烘曝光显影PI印刷PI固烤PI/TOP前清洗脱膜蚀刻后烘TOP印刷TOP固烤丝印胶边胶边预烘摩擦贴合热压丝印银点银点预烘喷粉1-2 前工序流程1-3 后工序流程玻璃分割分片入条真空灌晶整形封口液晶清洗半成品包装COG测试LCM邦定切偏光片贴偏光片光台检查功能测试磨边外表丝印过压喷码QC检查QA检查包装出货上PIN脚（压斑马纸）2-1 灌晶设备-灌晶机卧式灌晶机立式灌晶机（润正）破真空至常壓3-1 灌晶原理简介 先将空盒内的空气抽出，利用压力差与毛细原理，填充液晶至空盒内。抽真空高真空抽真空﹝10-2 mba，﹞破真空 ﹝ N2 ，30L/min﹞4-1 灌晶房环境要求 灌晶房温湿度要求湿度≤65%，温度保持22℃±2.5℃。灌晶房洁净度要求气压要为正压，空气洁净度要满足≤5000（0.5um）个/立方英尺 要求： 1.头发不可外露,口罩遮住口鼻,工作过程中凡要接触液晶及其灌晶相关治具须带净化手套（乳胶手套）。 2.净化服每周清洗一次；脏污破损的净化服须及时申请更换 4-0 灌晶房环境要求 灌晶房作装要求要求： 1.头发不可外露,口罩遮住口鼻,工作过程中凡要接触液晶及其灌晶相关治具须带净化手套（乳胶手套）。 2.净化服每周清洗一次；脏污破损的净化服须及时申请更换 4-0 灌晶操作流程灌晶准备上灌晶架上玻璃脱泡抽真空检查出货产品下架静置充氮气下架4-1 灌晶前准备1.灌晶前确认设备是否正常运转，真空度是否能达工艺要求。2.搬玻璃人员将玻璃放置待灌晶货架，并作好标识，由灌晶员工自己再将产品端到相应炉前。3.确认待灌液晶型号及《LC确认表》与待生产品种《生产制程控制卡》上液晶型号一致。 1.确认液晶型号正确。2.所灌产品与相对应液晶摆放的位置是同一个位置方向 ； 4-2 上灌晶架1.将灌晶架放入炉内，确认灌晶架必须放置平稳，若有倾斜，调节架子底部螺丝，直至水平2.接通电源3.检查灌晶架上升与下降运作处于正常状态4.将灌晶条或海绵条放在灌晶架上（已上好液晶） 1.更换产品或液晶型号时，需用无尘布（纸）清洁灌晶炉四壁，清洁顺序：由上至下，由内至外。2.上液晶时，需确认液晶型号是否正确。 4-2 上灌晶架接通电源确认液晶型号4-3 上玻璃1.确认灌晶架处于升起状态2.确认海绵条的高度保持水平3.确认灌晶条的定位孔与灌晶口是否在一条线上4.确认灌晶品种及液晶型号无误后，将已入条的玻璃置于灌晶架上，放好后要检查是否放平，需注意放置时手套和液晶口不得沾上海绵条上的液晶。 1.往真空炉内放玻璃时，严禁戴已沾染液晶的手套，以免污染灌晶口。2.海绵条不能有凹陷太严重的，以免灌不到液晶，对易气泡液晶海绵条不能有凸起，以免粘灌晶口，抽真空异常。3.分粒数≥70的小玻璃要尽量放上挡条压住玻璃（让整体受力在玻璃上）。炉内同层灌晶架，只能灌注同一种液晶。 4-3 上玻璃确认定位孔与液晶口在同一直线上玻璃小玻璃需压板4-4 液晶脱泡1.关闭灌晶炉门，按“抽气阀开”键。2.待真空度抽至10mbar时，反复进行充气-抽气-充气-抽气操作，对炉内的液晶及海绵条进行脱泡。 1.脱泡时间不得低于1分钟2.对于新上液晶，需在上玻璃前就需脱泡一次 4-4 液晶脱泡4-4 液晶脱泡注意事项：脱泡起泡严重的液晶， 需不上玻璃先脱泡至无泡状态，注意不可让液晶溢出灌晶条 上玻璃后再次脱泡，脱泡时注意液晶不可沾到液晶口；脱泡时间大于2分钟，新上海绵条脱泡时间大于5分钟，直至无泡状态 起泡严重的液晶型号：E234，E300，E310，84D6110-000，84D6100-000，MLC15690 …4-5 抽真空脱泡完毕后，继续抽真空，抽真空时间如下（其它自动灌晶设备抽真空参数见灌晶工艺参数表：4-6 下架达到规定真空度后，按“下架键”。待下架终止灯亮后，需续抽真空2分钟以上才能关闭“抽真空阀”按“充气阀”。 真空度要求：小玻璃低于10*10ˉ2 mbar，中玻璃低于5*10ˉ2 mbar，大玻璃低于2*10ˉ2 mbar. 4-7 充氮气1.待炉门自动开后，将“充气阀关”键关闭 检查架子是否下降到位4-8 静置1.待液晶注满玻璃后抽取几粒确认是否灌满，如灌满停留5分钟后再次抽取几粒玻璃确认，确认完后再上下架各取一条确认 1.静置过程保持炉门微开状态2.确认灌满后需静置3-5分钟 4-9 下玻璃1.确认玻璃灌满后按“上架”键升架。2.取出铝条（玻璃），放置规定区域