实验二__透射电镜结构原理、样品制备及观察.pdfVIP

. 实验二 参观透射电子显微镜 时间： 2015 年 12 月 1 日 第一组： 14:30-15:30 2013 级金属材料工程专业 一班 第二组： 15:30-16:30 2013 级金属材料工程专业 二班 地点：材料科学与工程学院一楼 TEM 室 讲解：龚伦军老师 实验二 透射电镜结构原理、样品制备及观察 一、实验内容及实验目的 1．结合透射电镜实物介绍其基本结构及工作原理，以加深对透射电镜结构的整体印象， 加深对透射电镜工作原理的了解。 2 ．掌握材料薄膜样品的制备方法 — 双喷电解减薄法和离子薄化法。 3 ．选用合适的样品，通过明暗场像操作的实际演示，了解明暗场成像原理。 4. 通过选区电子衍射的实际操作演示，加深对选区电子衍射原理的了解。 二、透射电镜的基本结构及工作原理 透射电子显微镜是一种具有高分辨率、 高放大倍数的电子光学仪器， 被广泛应用于材料 科学等研究领域。 透射电镜以波长极短的电子束作为光源， 电子束经由聚光镜系统的电磁透 镜将其聚焦成一束近似平行的光线穿透样品， 再经成像系统的电磁透镜成像和放大， 然后电 子束投射到主镜简最下方的荧光屏上而形成所观察的图像。 在材料科学研究领域， 透射电镜 主要可用于材料微区的组织形貌观察、晶体缺陷分析和晶体结构测定。 透射电子显微镜按加速电压分类，通常可分为常规电镜 (100kV) 、高压电镜 (300kV) 和超 高压电镜 (500kV 以上)。提高加速电压，可缩短入射电子的波长。一方面有利于提高电镜的 分辨率； 同时又可以提高对试样的穿透能力， 这不仅可以放宽对试样减薄的要求， 而且厚试 样与近二维状态的薄试样相比， 更接近三维的实际情况。 就当前各研究领域使用的透射电镜 来看，其主要三个性能指标大致如下： 加速电压： 80 ～3000kV 分辨率：点分辨率为 0.2～0.35nm 、线分辨率为 0.1～0.2nm 最高放大倍数： 30～ 100 万倍 . . 尽管近年来商品电镜的型号繁多， 高性能多用途的透射电镜不断出现， 但总体说来， 透 射电镜一般由电子光学系统、真空系统、 电源及控制系统三大部分组成。此外，还包括一些 附加的仪器和部件、 软件等。 有关的透射电镜的工作原理可参照教材， 并结合本实验室的透 射电镜，根据具体情况进行介绍和讲解。以下仅对透射电镜的基本结构作简单介绍。 1．电子光学系统 电子光学系统通常又称为镜筒， 是电镜的最基本组成部分，是用于提供照明、成像、显 像和记录的装置。 整个镜筒自上而下顺序排列着电子枪、 双聚光镜、 样品室、 物镜、 中间镜、 投影镜、观察室、荧光屏及照相室等。通常又把电子光学系统分为照明、成像和观察记录部 分。 2 ．真空系统 为保证电镜正常工作， 要求电子光学系统应处于真空状态下。 电镜的真空度一般应保持在 -5 托，这需要机械泵和油扩散泵两级串联才能得到保证。目前的透射电镜增加一个离子泵 10 -8 以提高真空度，真空度可高达 133．322×10 Pa 或更高。如果电镜的真空度达不到