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实验二;一、实验目的
二、实验内容
三、实验仪器设备和材料
四、实验原理
五、实验方法和步骤
六、实验报告要求
七、实验注意事项
八、思考题;一、实验目的;二、实验内容;三、实验仪器设备和材料;直流辉光放电PECVD沉积系统示意图 ;主要组件:真空室组件、直流电源、基片水冷加热台、窗口及法兰接口部件、工作气路、抽气机组(机械泵和分子泵)、阀门及管道、真空测量及电控系统。;四、实验原理;4.1 化学气相沉积制备薄膜介绍:;(1)气体放电:;(2)气体放电的伏安特性曲线:;(3)等离子体增强化学气相沉积( PECVD):
在低压化学气相沉积过程的同时,利用气体放电产生等离子体 并对沉积过程施加影响的薄膜制备技术。;(5)直流辉光放电PECVD沉积原理:;4.3类金刚石薄膜介绍:;(2)类金刚石薄膜结构:;性能;;五、实验方法和步骤;(6)真空度达到所需要的本底真空度后,关闭分子泵,机械泵仍然工作。打开气瓶,开始通入Ar 和CH4或C2H2气体,通过质量流量控制器控制Ar/CH4或Ar/C2H2的比例。;六、实验报告要求;七、实验注意事项;八、思考题;相关资源链接:;9、春去春又回,新桃换旧符。在那桃花盛开的地方,在这醉人芬芳的季节,愿你生活像春天一样阳光,心情像桃花一样美丽,日子像桃子一样甜蜜。7月-217月-21Friday, July 30, 2021
10、人的志向通常和他们的能力成正比例。03:21:3203:21:3203:217/30/2021 3:21:32 AM
11、夫学须志也,才须学也,非学无以广才,非志无以成学。7月-2103:21:3203:21Jul-2130-Jul-21
12、越是无能的人,越喜欢挑剔别人的错儿。03:21:3203:21:3203:21Friday, July 30, 2021
13、志不立,天下无可成之事。7月-217月-2103:21:3203:21:32July 30, 2021
14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about.
。30 七月 20213:21:32 上午03:21:327月-21
15、会当凌绝顶,一览众山小。七月 213:21 上午7月-2103:21July 30, 2021
16、如果一个人不知道他要驶向哪头,那么任何风都不是顺风。2021/7/30 3:21:3203:21:3230 July 2021
17、一个人如???不到最高峰,他就没有片刻的安宁,他也就不会感到生命的恬静和光荣。3:21:32 上午3:21 上午03:21:327月-21
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