玻璃减薄技术课件.ppt

End 谢谢！ 32 LOGO 玻璃减薄 技术 ? 浮法减薄技术 ? TFT-LCD 面板玻璃减薄工艺流程及 不良简介 2 浮法减薄技术 1 2 3 4 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型原理 玻璃液的拉薄 影响成型质量的因素 3 浮法玻璃成型的定义 ? 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优 质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地 流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自 身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、 在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控 制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻 璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优 于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。 4 浮法玻璃成型原理 ? 浮法玻璃成型原理 浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡 液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃 液的拉薄或增厚。 5 玻璃液的拉薄 ? 玻璃液的拉薄 浮玻璃液在重力和表面张力平衡时，在锡液面上 形成自然厚度约 7mm 的玻璃带。拉引厚度小于 自然厚度的玻璃时，必须对玻璃带施加一定的拉 力。但是当增加拉引速度时，随着拉引力的增加 ，玻璃宽度和厚度就成比例地减小，因为在玻璃 带被拉薄的同时，表面张力的作用使得玻璃带增 厚或使带宽有所收缩，因此要使拉薄过程有效地 、顺利地进行，必须选择适宜的温度范围、采用 合理的工艺参数和拉薄措 6 玻璃液的拉薄 施。实践证明，温度范围 883 ～ 769 ℃，有利于 玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了 展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得 的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要 求安置若干个拉边机。 7 影响成型质量的因素 ? 影响成型质量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出 现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致 停产，其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温 度制度、气氛制度、压力制度等项。 8 TFT-LCD 面板 玻璃减薄 1 2 3 减薄的作用 减薄工艺简介 常见的减薄不良 9 减薄的作用 1. 减少占有的空间 2. 使 Glass 达到一定的柔性 10 减薄工艺简介 封胶 减薄 研磨 防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ，破坏封框胶，进 入 Cell 内部，影响 产品性能。 用酸碱对 Glass 进 行刻蚀，从而达到 减薄的目的。 获得光亮、平整的 表面。 11 封胶 UV 胶 封胶工艺 防止强酸破坏 Cell 封框胶以及进入 Cell 内部 1. 加盖遮光垫 一般在这之前 还会进行检查。 2. 涂胶 涂胶后静置 1min 。 3. 擦胶 清除多的 UV 胶。 4. UV 固化 UV 固化后检查 破坏 TFT 结 构 12 封胶 GLS UV 灯 边框胶 加盖遮光垫 涂胶 UV 固化 涂胶后检查 13 减薄原理及方式 6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O 1 液体 + 固体（玻璃） - 液体 2 原理及方式 4 3 14 三种方式优缺点 单片直立喷洒 多片直立浸泡 优点： 优点： 1. 可以满足两面不 1. 可以同时间处理 同蚀刻要求。 多片 多片玻璃。 缺点： 缺点： 1. 蚀刻表面易产生 1. 装置大型。 凹点。 2. 外围产生沉淀物 , 白色粉沫，容易粘 附在 Glass 上。 瀑布流 优点： 1. 表面最光滑，甚 至可以不用抛光 15 减薄流程 清洗 Text in here 蚀刻 Slimming 清洗 16 减薄设备 Loader 单元 其余组件： 供酸装置 HF 酸浓度计 预清洗单 元 Unloader 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 单元 温度控制器 洗气装置 17 减薄工艺参数 1. 反应时间与玻璃质量损失的关系 图 1. 反应时间与玻璃质量损失之间的关系 18 减薄工艺参数 2. 反应速率与反应温度的关系 图 2. 玻璃在 HF 酸中反应速率与反应温度之间的关系 19 减薄工艺参