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铸锭车间SOP培训教材多晶铸锭坩埚喷涂坩埚装料铸锭投料部门流程介绍铸锭出锭铸锭拆锭DSS系统坩埚作业流程1、坩埚喷涂1.1 磨料1） 用电子秤准确称取HGE喷涂氮化硅配比250g (A)+200g(B)=450g,氮化硅（450g)+纯水（1600ml—1800ml）+硅溶胶（100--160g)单一氮化硅粉配比： 450g+1700ml（纯水）+硅溶胶(100-160g) 备注：氮化硅粉用量，随着工艺时期及季节时期，会有20-30g波动。氮化硅放于容器中。2）用尼龙网纱布网住小木桶的口。3）把氮化硅轻轻倒入尼龙网纱上，用塑料勺子慢慢研磨使氮化硅能通过砂网砂眼，达到工艺要求的颗粒大小而落入小桶中，直至磨完为止。1.2 取出已检查过未喷坩埚，视觉检查坩埚表面有无裂纹，无缺角，记下坩埚序列号，将坩埚放置在坩埚喷涂站中，用90PSI的压缩空气吹扫坩埚表面，用百洁布沾纯水来檫试坩埚表面，然后打开加热装置。1.3 当坩埚温度达到70℃（用测温枪测量温度）时，用量筒取1升纯水,加入研磨好的氮化硅，搅拌均匀，备用。称氮化硅粉磨粉坩埚作业流程1.2开始喷涂2.1当坩埚底部、测面温度达到65℃-75℃（用测温枪测量温度）时，才可开始喷涂， 将开始时间记录在《坩埚喷涂记录单》中。2.2 定位喷枪上的螺旋及喷嘴1） 顺时针方向拧紧上螺旋，之后重新倒回螺旋1/4圈。2） 顺时针方向拧紧下螺旋，之后重新倒回螺旋3/2圈。3） 将喷嘴设为水平横方向。4） 喷射压力为20~35PSI。压力计坩埚作业流程2.3 开始喷涂时，先试喷在一张纸板上，以保证喷出的液体在纸板上均匀分布。2.4 喷枪离所需喷涂表面垂直距离30-40cm，先喷底部，喷枪不间断的来回喷涂7~10次，其它表面来回喷涂3~5次，直至喷完所有氮化硅混合液，手拿喷枪喷射速度匀速，时间平均分配，每点停留时间不超过一秒，否则混合液会凝聚在一起，影响喷涂质量。2.5 每一次喷涂前，须用测温枪测量坩埚底部、测面温度，所有温度必须控制在70℃-75℃内，温度可以通过开关加热器开关予以调节。 操作员须记录每次正式喷涂前的最高温度和最低温度，全部喷完后，再将整个喷涂过程中的最高温度、最低温度及喷涂结束时间记录在《坩埚喷涂记录单》中。搅拌喷涂两人协作坩埚作业流程2.6 用手电筒照射检查，看喷涂质量，有无裂纹、凸起、脱落，如果有用纯水洗掉，重新喷涂。检查喷涂是否完好对这些水管重点清洗2.7 每次完成喷涂，喷涂器具清洗干净，至少清洗二次以上。坩埚作业流程4.5cm±24、坩埚装料4.1 操作员戴好手套，在推车上放一石墨板，摆放整齐（石墨平面与车板平行）。4.2 将坩埚轻放在干净的石墨板正中（即坩埚四个外表面到石墨板边垂直距离为4.5±0.2cm），校正好石墨板与小车各面位置（即推车两侧边到石墨板距离为14~17cm，正对推车扶手一面的边缘距石墨板为6.5~7cm）。4.3 摆放好用吸尘器吸去石墨板上、推车上的灰尘。4.4 把坩埚推入装料室中。4.5 操作员在装料前须确保带好口罩、帽子、一次性胶皮手套。标准着装坩埚作业流程4.6开始装料：4.6.1 先把粒子状、粉末状的硅料轻轻铺好底部，不要扔、投，避免刮破喷涂层；再放入较大块和较小块(如有可能)的混合料以清除空气和气泡。4.6.2大块料摆放在底层，不要平铺叠在一起，避免横向膨胀，也不要直接贴在坩埚边部，与坩埚内壁之间空出5cm±2空隙。4.6.3当装料装至整个坩埚高度1/2时，加入掺杂物质，均匀摆放在硅料表面。4.6.4 继续装料直到距坩埚顶部1-2英寸处将硅料摆在中间位置以防掉落，直至装完，应特别注意上部避免装粉料或细小块料，尽量放块状料。坩埚作业流程吸尘4.6.5用吸尘器吸去推车上、石墨板上的残留物质在坩埚四边固定好石墨档板四边石墨档紧板的边必须与石墨底板边相吻合，且石墨档板与底板平面相互垂直，对边两档板与坩埚距离保持一致，用手旋上螺丝，不要太紧，盖上薄膜，填写并附上《装料坩埚追踪号单》。4.6.6 送往DSS铸锭区。注意：装料过程注意防尘，不接触金属，轻拿轻放，不要碰坏喷涂层，非工作人员勿进入装料室 已装好料三人协作装护板三人协作装上石墨板和螺栓。 将石墨支撑板放在坩埚周围，将螺栓对准安装孔螺入且固定。螺栓不能拧得太紧，只能用手指拧紧。继续固定支撑直到完全围住坩埚。铸锭装料进炉装料 先把装有硅料的小车推入“U”形叉车大约中间位置，再提升“U”叉至石墨底板4～5cm处，提升速度小于5mm/s，再调整小车的位置，使硅料处于“U”叉的正中央，左右偏差不超过5mm,提升“U”叉，使叉车支承起硅料至叉车的上限位置。送入炉体把载有硅料的叉车开至DSS 炉正前面，使叉车底部两叉脚与DSS炉底部支架导向定位夹保持基本对正。 把硅料送入炉体内