《传感器与智能检测技术》 教学课件第4章课件.docxVIP

传感器与智能检测技术 机械工业出版社 CHINA MACH INE PRESS ，第4章 秦洪浪郭俊杰主编 TSBN978-7-111-65262-5 压电式传感器 压电元件与压电效应 压电传感器的结构 ~压电传感器的等效电路和测量 压电式传感器应用实例 4. 1压电元件与压电效应 ?4. 1 . 1压电元件 4. 1 . 2压电效应 4. 1. 1压电元件 压电式传感器中的压电元件一般有三类: ?压电晶体（单晶体） ?经过极化处理的压电陶瓷（多晶体） ?高分子压电材料 —、石英晶体 石英(Si02)晶体结晶形状为六 角形晶柱。 石英晶体是一种性能良好的压电晶体，它的突出优点是性能非常稳定。 在20~200°C的范围内压电常数的变化率只有-0. 0001/°Co此外，它还具有 自振频率高、动态响应好 机械强度高 绝缘性能好、迟滞小、重复性好、 线性范围宽等优点。石英晶体的缺乏之处是压电常数较小(d=2.31X10T C/N)。因此石英晶体大多只在标准传感器、高准确度传感器或使用温度较 高的传感器中使用。 二、压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电 材料，它比石英晶体的压电灵敏度高 得多，而制造本钱却较低，因此目前 国内外生产的压电元件绝大多数都采 用压电陶瓷。 压电陶瓷由无数细微的电畴组成。 在无外电场作用时，各个电畴在晶体中 杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消 了，因此原始的压电陶瓷呈中性，不具 有压电性质。 为了使压电陶瓷具有压电效应，必 须在一定温度下做极化处理。极化处理 之后，陶瓷材料内部存在有很强的剩余 极化强度，当压电陶瓷受外力作用时， 其外表也能产生电荷，所以压电陶瓷也 具有压电效应。 a) b) c) a） 极化处理前电畴杂乱分布 b） 在极化电压下的电畴分布 c） 冷却、稳定后的电畴分布 压电陶瓷的优点是烧制方便、易成型、耐湿、耐高温。缺点是具有热 释电性，会对力学量测量造成干扰。常用的压电陶瓷材料主要有以下两种: ?错钛酸铅系列压电陶瓷（PZT） ?非铅系压电陶瓷 三、高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯、聚氟乙烯、 改性聚氯乙烯等。它是一种柔软的压电材料，可根据需 要制成薄膜或电缆套管等形状。优点是不易破碎，具有 防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺 度，价格廉价，测量动态范围大，频率响应范围较宽。 宜暴晒,以免老化。缺点是工作温度一般低于100°C,温度升高时，灵敏度 将降低。它的机械强度不够高，耐紫外线能力较差，不 宜暴晒, 以免老化。 压电效应 压电效应可分为正压电效应和逆压电效应。 ?正压电效应：某些物质，当沿着一定方向对其加力而使其变形时，在一定 外表上将产生电荷，当外力去掉后，又重新回到正常的不带电状态，这种 现象称为正压电效应。 ?逆压电效应：如果在这些物质的极化方向施加电场，这些物质就在一定方 向上产生机械变形或机械应力，当外电场撤去时，这些变形或应力也随之 消失，这种现象称之为逆压电效应，或称之为电致伸缩效应。 石英晶体的三个轴： ?纵向轴称为光轴，也称Z轴，有折光效应, 没有压电效应 ?经过正六面体棱线，并垂直于光轴的轴线称为电轴，也称X ?经过正六面体棱线，并垂直于光轴的轴线称 ?经过正六面体的棱面且垂直于光轴的轴线称为机械轴，也称y轴 ?经过正六面体的棱面且垂直于光轴的轴线称 石英晶体的三个面： ?垂直于光轴（Z轴）的面称为Z面 ?垂直于电轴（X轴）的面称为X面 ?垂直于机械轴（y轴）的面称为y面 电荷只产生在与x轴垂直的x面的前后两侧。 Z Z X 石英晶体的X、y轴向受力产生电荷比拟: ?在x轴方向上施加压力Fx时，在x面上产生的 ?在x轴方向上施加压力Fx时，在x面上产生的 电荷：么=刁11凡 式中du为x方向受力的压电系数。 ?在y轴方向施加压力Fy时，那么仍在x面上产生 y X b y 电荷: 式中山2 式中山2为y轴方向受力的压电系数，I、5 为石英晶片的长度和厚度。 根据石英晶体的对称性, d12=-d11；电荷qx和qy的符号由 受压力还是受拉力决定。 0)石英晶体压电模型(b)x轴方向受力(a)不受力时 0) 石英晶体压电模型 (b)x轴方向受力 正、负离子正好分布在正六边当石英晶体未受外力作用时，如图(a)所示, 正、负离子正好分布在正六边 形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3o因为P=ql, q为电 荷量，I为正负电荷之间距离。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零, 即P1+P2+P3二0,所以晶体外表不产生电荷，即呈中性。 0)石英晶体压电模型(b)x轴方向受力(a)不受力时 0) 石英晶体压电模型 (b)x轴方向受力 (a)不受力时 当石英晶体受到沿X轴方向的压力作用时，晶体沿X方向将产生