激光外差探测系统的研究.docxVIP

清华大学2012届毕业论文 目 录 TOC \o 1-5 \h \z \o Current Document 引言 1 \o Current Document 1课题研究的背景及意义 1 1. 1激光测量方法 1 1.2激光测量分类 1 1.3激光测试的特点 1 1.1.4激光测试的应用领域 2 1.5激光外差探测技术 2 1.1.6激光外差干涉测量系统 3 1.7激光外差干涉仪 3 1. 1.8课题研究意义 3 \o Current Document 1.2国内外研究状况 3 \o Current Document 3本文主要研究内容 4 \o Current Document 外差原理 5 1 光外差原理 5 \o Current Document 2.2光外差探测的特性 6 \o Current Document 2.3光外差探测的应用 9 \o Current Document 3激光外差探测系统的特性研究 15 \o Current Document 1激光外差信噪比的研究 15 3. 1. 1 信噪比定义 15 3. 1.2激光外差探测屮的信噪比 15 3. 1.3 理论分析 15 3. 1.4外差效率的数值模拟 18 \o Current Document 3.2影响激光外差高精度计量的儿个关键因素 22 3. 2. 1 误差来源 22 3. 2.2影响测量精度的几个重要因索 23 3. 2.3确保测量精度的一些办法 30 \o Current Document 4 结论 31 \o Current Document 参考文献 33 第I页共II页 35 1引言 1.1课题研究的背景及意义 1.1.1激光测量方法 激光的亮度，高相干性和高准直性，使光学检测方法产生革命性的变化，并 有可能对过去不能测屋对象进行测屋。提高了测量精度，已达伽(10-9m )量 级，并使测量智能化。 国际上倾向性的看法是：激光测量是一门综合性实用技术，能记录、分析激 光与被研究对彖相互作用而发生变化的光波场参数，以便测出被研究对彖的动力 学参数，声学参数，重力场参数，热力学参数，电磁学参数，光学参数和微观信 息等。即可用激光检测的方法探测、声、光、热、屯磁、力学等物理参数，长度、 角度、表面光洁度等几何参数以及化学参数。 1. 1.2激光测量分类 干涉法：T涉测长 衍射法：测微小尺寸 光扫描法：扫描测径，扫描对准 准直法：准直仪 光脉冲法：激光脉冲测距——精度m 光调制法：激光相位测距——精度nrni 多谱勒法：测流体速度 全息法：测变形 散斑法：测微位移 光谱法：测大气污染，测化学成分 11数字图像法：(CCD成像)OCT 12傅里叶频谱法：指纹检测 13莫尔条纹法：莫尔条纹法测量角度、莫尔偏析法测焦透镜焦距等、等高 莫尔法测三维物体。 1. 1.3激光测试的特点 非接触：无接触力，柔性 高灵敏度 高精度 三维性 相关性，高低温 实时性 抗干扰性（电磁干扰） 通信保密性：光通信的定向性，光纤的保密性 1.1.4 激光测试的应用领域 ?军事领域 1.跟踪：红外制导导弹 2?激光测距：测距机、激光雷达、激光探潜 ?激光预警 ?工业领域 长度、角度、光洁度 声光、热电磁 ?生物科学 OCT,探测组织对激光的吸收 血流（激光Doppler测量） ?环境科学 测大气污染 地形地貌测量 ?公安系统 指纹测屋 等高莫尔条纹（人体形测量） 1.1.5激光外差探测技术 激光外差探测技术是将频率不同的本振光和信号光做相干叠加，用探测器來 实现对两者差频频率的探测，其特点在于将高频的光波信号转换成屮低频率的包 络信号来实现频率测量。外井探测的灵敏度高，通过提高木振光的强度，可实现 对微弱信号探测，灵敏度比直接探测高出好几个数量级。该技术有着良好的噪声 滤除能力、抗干扰能力强，基于其实时性、可溯源性和高分辨率等优点，已被广 泛应用于纳米分辨力和人动态测量范I韦I的精密定位和位移监测。 1.1.6激光外差干涉测量系统⑴ 激光外差T涉测量系统是日前最常用的激光测量系统之一，它不仅被用于 长度测量，而且述用于工业中位移、角度、直线度、平面度等方面的测量和与几 何量测量相关领域的测量，特别是在纳米量级的位移和面形的测量。 1.1.7激光外差干涉仪⑵ 激光外差干涉仪是激光外差干涉系统的试机应用，激光外差干涉仪具有测量 速度快，精度高，抗干扰能力强，重复性好的优点，己经应用于超精密测量、 检测、加工、激光雷达等领域。特别在合成孔径激光雷达中，需要探测冋波信号 的幅度信息和相位信息等.在光波波段相位信息更是需要通过光外差探测的方法 来获得。 1. 1.8课题研究意义 木课题的主要0的是针对激光外差探测系统的一些主要特性