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硅烷安全技术说明书 第一部分 化学品名称及企业标识 化学品中文名称：硅烷 甲硅烷 化学品俗名：四氢化硅 化学品英文名称： silane 英文名称： silicon tetrahydride 化学式： SiH4 技术说明书编码： 1039 CAS No. ： 7803-62-5 第二部分：成分 / 组成信息 成分 化学式 含量 (%) 硅烷 SiH4 99.9999 第三部分：危险性概述 危险性类别： 侵入途径： 健康危害： 吸入甲硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗；严重者面色苍白、脉搏微弱、昏 迷。 环境危害： 燃爆危险： 本品易燃，有毒。 第四部分：急救措施 皮肤接触： 眼睛接触： 吸入： 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人 工呼吸。就医。 食入： 第五部分：消防措施 危险特性： 与空气混合能形成爆炸性混合物。遇明火、高热极易燃烧爆炸。暴露在空气中能自燃。与氟、 氯等接触会发生剧烈的化学反应。 有害燃烧产物： 氧化硅、氢气。 灭火方法： 消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服，在上风向灭火。切断气源，若不能切断气源，则 不允许熄灭泄漏处的火焰。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。灭 火剂：水、泡沫、干粉、二氧化碳。 第六部分：泄漏应急处理 应急处理： 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理 人员戴自给正压式呼吸器，穿防静电工作服。从上风处进入现场。尽可能切断泄漏源。喷雾状水稀释。如 有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器要妥善处理，修复、检 验后再用。 第七部分：操作处置与储存 操作注意事项： 密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作 人员佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿防静电工作服，戴乳胶手套。远离火 种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与 氧化剂、碱类、卤素接触。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。搬运时轻装轻卸， 防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。 储存注意事项： 储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。钢瓶温度不应超过 52℃。 保持容器密封。应与氧化剂、碱类、卤素、食用化学品分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。 禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。 第八部分：接触控制 / 个体防护 中国 MAC(mg/m3)： 未制定标准 前苏联 MAC(mg/m3)： 未制定标准 TLVTN： ACGIH 5ppm,6.6mg/m3 TLVWN： 未制定标准 监测方法： 工程控制： 生产过程密闭，全面通风。 呼吸系统防护： 空气中浓度超标时，建议佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。紧急事态抢救或撤离时， 应该佩戴空气呼吸器。 眼睛防护： 戴化学安全防护眼镜。 身体防护： 穿防静电工作服。 手防护： 戴乳胶手套。 其他防护： 工作现场严禁吸烟。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。 第九部分：理化特性 外观与性状： 无色气体，有恶臭。 pH： 熔点 ( ℃) ： -185 相对密度 (