扫描电子显微镜 PPT.pptx

扫描电子显微镜;当高速电子照射到固体样品表面时,就能够发生相互作用,产生一次电子的弹性散射,二次电子,等信息。 这些信息与样品表面的几何形状以及化学成份等有特别大的关系。 通过这些信息的解析就能够获得表面形貌与化学成份的目的。 ;(1)二次电子 定义:在入射电子的轰击下被迫离开试样表面的试样的核外电子 只有试样表层下5~10nm范围内激发出的二次电子,才有估计逸出试样表面 它对试样表面形貌敏感,主要用于显示试样的表面形貌 ;(2)背散射电子 ;(3)特征X射线 当试样内原子核外的内层电子被激发时,外层电子跃迁而填补内层空位时就会释放特征X射线 特征X射线一般在试样内的500nm-5000nm深处发生 用X射线探测器探测表面微区存在的相应元素;(4)俄歇电子 定义:若试样中原子核外内层电子被激发,入射电子在激发特征X射线过程中,外层电子跃迁填补内层空位时能量的释放将相邻的电子激发出去,该电子称俄歇电子 在距离表面1nm左右范围内的俄歇电子才能逸出表面 适用于做表面成分分析;(5)相应扫描电镜成像;9、3、1 扫描电镜的工作原理 电子枪发射电子束?经过聚光汇聚成细小的电子束斑?在扫描线圈的作用下使电子束在样品上扫描?试样在电子束 的作用下产生二次电子等各种物理信号?探测器接受信号,经过信号处理放大系统?显象管栅极以调制显象管的亮度。;;;9、3、2扫描电镜的构造 (1)电子光学系统 该系统的组成:由电子枪、电磁透镜、光阑、样品室等部件组成 该系统的作用:仅仅用来获得电子束; 扫描线圈:使电子做光栅状扫描,并保证电子束在样品上的扫描与显象管上的扫描同步。该扫描线圈与显象管内的扫描线圈由同一锯齿波发生器控制,线圈内设置两个偏转线圈控制扫描电子束的扫描方向。; (2)信号收集系统 作用:检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。 (a)二次电子与背散射电子收集器 (b) 吸收电子检测器 试样不直截了当接地,而与一个试样电流放大器相接,可检出被测试样吸收的电子。 (c) X射线检测器 检测试样发出的元素特征x射线波长与光子能量,从而实现对试样微区进行成分分析。 ;(4)??品室与真空系统 扫描电镜的样品室比透射电镜复杂,体现在它能够容纳大块的试样(如直径20?10mm),观察时样品台可在三维空间进行移动、倾斜、旋转。; 新式的扫描电镜在样品台上能够对样品进行加热、冷却、拉伸等实验。;使用 ESEM 模式与 Peltier 冷台有利于稳定样品 ,否则特别难成像; 加热样品可达1500 °C 水冷却可获得最佳的稳定性;拉伸台;拉伸台动态录象;9、3、4 扫描电镜的性能 (1)分辨率 扫描电镜的分辨率有两方面的含义: 对微区成分分析而言是指能够分析的最小区域。 对成像而言指分辨两像点之间的最小距离。;扫描电镜分辨率的高低与检测信号的种类有关 各种信号成像的分辨率(nm);(2)放大倍数 放大倍数M Ac---显象管荧光屏尺寸 As ---试样表面扫描距离(幅度) 通常荧光屏尺寸是固定的,因此在扫描电镜中M的变化是通过电子束在样品表面扫描距离As实现; 具体操作M可通过调节扫描线圈上的电流实现; 若减小扫描线圈的电流,电子束的偏转角度小,在试样上移动的距离As小 ,使放大倍数增大,反之,增大扫描线圈的电流,放大倍数减小。 目前大多数商品扫描电镜的放大倍数: M在20-200000倍之间连续可调;9、4二次电子表面形貌衬度原理及应用;;感谢您的聆听！