微纳光电子复习资料.docVIP

. .. . .可修编. 简答题： 1. 套准精度的定义,套准容差的定义。大约关键尺寸的多少是套准容差. 套准精度是测量对准系统把幅员套准到硅片上图形的能力。 套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移。 一般，套准容差大约是关键尺寸的三分之一。 2. 亚波长构造的光学特性。 亚波长构造的光学特性：-- 光波通过亚波长构造时，光的衍射消失，仅产生零级反射和透射，等效为薄膜，可用于抗反射元件和双折射元件； -- 采用空间连续变化的亚波长构造可获得偏振面的衍射，形成新型偏振器件； -- 外表等离子波亚波长光学利用外表等离子体波共振〔SPR〕原理：波导，小孔增强，局域增强等 4. 微电子的开展的摩尔定律是什么?何谓后摩尔定律？ 集成电路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸缩小倍，这就是摩尔定律 5. 单晶、多晶和非晶的特点各是什么？ 单晶：几乎所有的原子都占据着安排良好的规那么的位置，即晶格位置；——有源器件的衬底 非晶：如SiO2, 原子不具有长程有序，其中的化学键，键长和方向在一定的围变化； 多晶：是彼此间随机取向的小单晶的聚集体，在工艺过程中，小单晶的晶胞大小和取向会时常发生变化，有