集成电路工艺基础_实验指导书.docx

实验指导书 教学单位：电子信息学院 课程名称：集成电路工艺基础 面向专业：电子科学与技术 电子科技大学中山学院 2013 年 9 月 实验指导书 实验名称：实验一使用 ATHENA软件仿真 MOS管工艺 实验类别：综合性 学时安排： 4 学时 实验要求：必做 ￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣ 一、实验目的和任务 随着 IT 产业的迅猛发展，微电子集成电路在通讯、计算机及其他消费类电子产品中的重要地位日益 突出，而 IC 的生产和设计技术水平是决定 IC 芯片性能的两大要素。本实验是 IC 生产中工艺设计的利用 计算机辅助仿真的环节， 是基于微电子技术应用背景和 《集成电路工艺基础》 课程设置及其特点而设置的。 其目的在于：通过本实验使学生能基本掌握 IC 工艺的通用流程，熟悉各单项工艺的基础知识；学习并掌 握国际流行的工艺仿真软件 ATHENA 的使用方法，加深对课程知识的认识。 二、实验原理介绍 ATHENA 是 Silvaco 公司开发的一种很优秀的半导体工艺模拟软件，最大的特点是可用于任何个人计 算机 (PC 机)。 Silvaco 拥有包括芯片厂、晶圆厂、 心等在内的庞大的国内外用户群。许多世界