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电子背散射衍射：当入射电子束在晶体样品中产生散射时，在晶体内向空间所有方向发射 散射电子波。如果这些散射电子波河晶体中某一晶面之间恰好符合布拉格衍射条件将发生 衍射，这就是电子背散射衍射。 二、简答 1、 透射电镜主要由几大系统构成？各系统之间关系如何？ 答：三大系统：电子光学系统，真空系统，供电系统。 其中电子光学系统是其核心。其他系统为辅助系统。 2、 照明系统的作用是什么？它应满足什么要求？ 答：照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。它的作用是提供一 束亮度高、照明孔经角小、平行度好、束流稳定的照明源。它应满足明场和暗场成像需求。 3、 成像系统的主要构成及其特点、作用是什么？ 答：主要由物镜、物镜光栏、选区光栏、中间镜和投影镜组成. 1） 物镜：强励磁短焦透镜（ f=l-3mm），放大倍数100—300倍。 作用：形成第一幅放大像 2） 物镜光栏：装在物镜背焦面，直径20-120um,无磁金属制成。 作用：a.提高像衬度，b.减小孔经角，从而减小像差。C.进行暗场成像 3） 选区光栏：装在物镜像平面上，直径20-400um, 作用：对样品进行微区衍射分析。 4） 中间镜：弱压短透镜，长焦，放大倍数可调节0—20倍 作用a.控制电镜总放大倍数。B.成像/衍射模式选择。 5） 投影镜：短焦、强磁透镜，进一步放大中间镜的像。投影镜内孔径较小，使电子束 进入投影镜孔径角很小。 小孔径角有两个特点： a.景深大，改变中间镜放大倍数，使总倍数变化大，也不影响图象清晰度。 焦深长，放宽对荧光屏和底片平面严格位置要求。 4、分别说明成像操作与衍射操作时各级透镜（像平面与物平面）之间的相对位置关系，并 画出光路图。 答：如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，那么在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作，如图（a）所示。如果把中间镜的物平面和物镜的后焦面重合，那么在荧光屏上得到一幅电子衍射把戏，这就是电子显微镜中的电子衍射操作，如图（b）所示。 （a） （b） 图5-16成像系统光路 3）高倍放大；（b）电子衍射 简要说明多晶（纳米晶体）、单晶及非晶衍射把戏的特征及形成原理。 答：单晶把戏是一个零层二维倒易截面，其倒易点规那么排列，具有明显对称性，且处于二 维网络的格点上。因此表达把戏对称性的根本单元为平行四边形。单晶电子衍射把戏就是 （uvw） *0零层倒易截面的放大像。 多晶面的衍射把戏为：各衍射圆锥与垂直入射束方向的荧光屏或照相底片的相交线，为 一系列同心圆环。每一族衍射晶面对应的倒易点分布集合而成一半径为1/d的倒易球面，与 Ewald球的相惯线为园环，因此，样品各晶粒｛hkl｝晶面族晶面的衍射线轨迹形成以入射电 子束为轴、2。为半锥角的衍射圆锥，不同晶面族衍射圆锥20不同，但各衍射圆锥共顶、共 轴。 非晶的衍射把戏为一个圆斑。 薄膜样品的根本要求是什么？具体工艺过程如何？双喷减薄与离子减薄各适用于 制备什么样品？ 答：样品的根本要求： 1）薄膜样品的组织结构必须和大块样品相同，在制备过程中，组织结构不变化； 2） 样品相对于电子束必须有足够的透明度 3） 薄膜样品应有一定强度和刚度，在制备、夹持和操作过程中不会引起变形和损坏; 4） 在样品制备过程中不允许外表产生氧化和腐蚀。 样品制备的工艺过程 1） 切薄片样品 2） 预减薄 3） 终减薄 离子减薄： 1） 不导电的陶瓷样品 2） 要求质量高的金属样品 3） 不宜双喷电解的金属与合金样品 双喷电解减薄: 1） 不易于腐蚀的裂纹端试样 2） 非粉末冶金试样 3） 组织中各相电解性能相差不大的材料 4） 不易于脆断、不能清洗的试样 7、什么是衍射衬度？它与质厚衬度有什么区别? 答：晶体试样在进行电镜观察时，由于各处晶体取向不同和（或）晶体结构不同，满足布拉格 条件的程度不同，使得对应试样下外表处有不同的衍射效果，从而在下外表形成一个随位置 而异的衍射振幅分布，这样形成的衬度，称为衍射衬度。质厚衬度是由于样品不同微区间存 在的原子序数或厚度的差异而形成的，适用于对复型膜试样电子图象作出解释。 8、图说明衍衬成像原理，并说明什么是明场像、暗场像和中心暗场像。 答：设薄膜有A、B两晶粒 B内的某（hkl）晶面严格满足Bragg条件，或B晶粒内满足“双光束条件”，那么通过（hkl）衍 射使入射强度10分解为Ihki和10-Ihki两局部 A晶粒内所有晶面与Bragg角相差较大，不能产生衍射。 在物镜背焦面上的物镜光阑，将衍射束挡掉，只让透射束通过光阑孔进行成像（明场）, 此时，像平面上A和B晶粒的光强度或亮度不同，分别为 Ia X Io Ib ? Io - Ihki B晶粒相对A晶粒的像衬度为 （*）B （*）B 好0 知 A【B ?I hkl 明