电容式传感器 PPT.pptxVIP

电容式传感器;4、1 电容式传感器的工作原理与特性;可见:在S、d、ε三个参量中,改变其中任意一个量,均可使电容量C改变。也就是说,假如被检测参数(如位移、压力、液位等)的变化引起S、d、ε三个参量中之一发生变化,就可利用相应的电容量的改变实现参数测量。据此,电容式传感器可分为以下三大类: (1) 极距变化型电容传感器; (2) 面积变化型电容传感器; (3) 介质变化型电容传感器。;4、1、2电容传感器特性分析;;;为了提高灵敏度和减小非线性，以及克服某些外界条件如电源电压、环境温度变化的影响，常采用差动式的电容传感器，其原理结构如图所示。 ;略去非线性高次项，得：;2、变面积的电容式传感器; ;变面积型电容传感器中，平板形结构对极距变化特别敏感，测量精度受到影响,而圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，成为实际中最常采用的结构。;（2）用于角位移测量的电容式传感器;3、变介质型电容式传感器;;（1)若改变固体介质的相对介电常数 ， 则有电容量的相对变化为:;（2）若传感器保持? r不变，改变介质厚度，则可用于测量介质厚度变化，此时;（3）若被测介质充满两极板间，则d=a，此时初始电容为;4、2 电容式传感器的特点及设计要点; (3)静电引力小 电容传感器两极板间存在着静电场,因此极板上作用着静电引力或静电力矩。静电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极间距离有关。一般说来,这种静电引力是特别小的,因此只有对推动力特别小的弹性敏感元件,才须考虑因静电引力造成的测量误差。; (5)能够实现非接触测量、具有平均效应 当被测件不能允许采纳接触测量的情况下,电容传感器能够完成测量任务。当采纳非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,能够减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 电容式传感器除上述优点之外,还因带电极板间的静电引力极小,因此所需输入能量极小,因此特别适宜低能量输入的测量,例如测量极低的压力、力与特别小的加速度、位移等,能够做得特别灵敏,分辨力特别高,能感受0、001μm甚至更小的位移。 ; (1)输出阻抗高,负载能力差 电容式传感器的容量受其电极几何尺寸等限制,??般为几十到几百pF,使传感器的输出阻抗特别高,尤其当采纳音频范围内的交流电源时,输出阻抗高达106～108Ω。因此传感器负载能力差,易受外界干扰影响而产生不稳定现象,严重时甚至无法工作,必须采取屏蔽措施,从而给设计与使用带来不便。容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高(几十MΩ以上),否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响传感器的性能(如灵敏度降低),为此还要特别注意周围环境如温湿度、清洁度等对绝缘性能的影响。高频供电尽管可降低传感器输出阻抗,但放大、传输远比低频时复杂,且寄生电容影响加大,难以保证工作稳定。 ; (3)输出特性非线性 变极距型电容传感器的输出特性是非线性的,虽可采纳差动结构来改善,但不估计完全消除。其他类型的电容传感器只有忽略了电场的边缘效应时,输出特性才呈线性。否则边缘效应所产生的附加电容量将与传感器电容量直截了当叠加,使输出特性非线性。 随着材料、工艺、电子技术,特别是集成电路的高速发展,使电容式传感器的优点得到发扬而缺点不断得到克服。电容传感器正逐渐成为一种高灵敏度、高精度,在动态、低压及一些特别测量方面大有发展前途的传感器。 ;4、2、2 电容传感器设计要点; 2、提高结构设计中的绝缘性能 减小环境温度、湿度等变化所产生的误差,以保证绝缘材料的绝缘性能,温度变化使传感器内各零件的几何尺寸与相互位置及某些介质的介电常数发生改变,从而改变传感器的电容量,产生温度误差。湿度也影响某些介质的介电常数与绝缘电阻值。因此必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差与保证绝缘材料具有高的绝缘性能。 ; 传感器内,电极的支架除要有一定的机械强度外还要有稳定的性能。因此选用温度系数小与几何尺寸长期稳定性好,并具有高绝缘电阻、低吸潮性与高表面电阻的材料。例如石英、云母、人造宝石及各种陶瓷等做支架。尽管这些材料较难加工,但性能远高于塑料、有机玻璃等。在温度不太高的环境下,聚四氟乙烯具有良好的绝缘性能,能够考虑选用。 ;在估计的情况下,传感器内尽量采纳差动对称结构,如此能够通过某些类型的测量电路(如电桥)来减小温度等误差。 选用50kHz至几MHz作为电容传感器的电源频率,以降低对传感器绝缘部分的绝缘要求。 传感器内所有的零件应先进行清洗、烘干后再装配。传感器要密封以防止水分侵入内部而引起电容值变化与绝缘性能下降。传感器的壳体刚性要好,以免安装时变形。 ; (1)增加传感器原始电容