单晶炉的机械结构与维修研讨.pptx

TDR85A-ZJS单晶炉的机械 结构与维修;背景 — 半导体生产流程;设 备 简 介;工艺过程;熔 料;引 晶;放 肩;等 晶;收 尾;TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉;整体结构尺寸;整体结构尺寸;接口尺寸;籽晶提升机构经过静平衡和动平衡测试 带称重传感器 快慢速双电机 外置限位调节 观测玻璃窗 光电编码计行程;晶体提升机构结构（主视）;晶体提升机构结构（俯视）;晶体提升腔拆装及调整;晶体提升腔拆装及调整;晶体提升腔拆装及调整;晶体提升腔拆装及调整;籽晶钢缆的对中;晶升离合器的调整;晶体提升机构维护周期表;坩埚提升机构;坩埚提升机构（主视）;坩埚提升机构（俯视）;坩埚提升机构拆装及调整;坩埚提升机构拆装及调整;坩埚提升机构维护周期表;翻板阀的调整;水平调整机构;副室旋转机构;氩气分流系统;真空系统;冷却水系统;采用光学系统将晶体图像分到2个独立CCD完成引晶、等径的单独控制。 图像处理速度快，引晶跟踪能力强，引晶效果好 机械调整简单;采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机构，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭，提高取晶的安全性； 采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，避免了采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患； 采用独特的氩气分流环结构，保证在拉晶过程中氩气气流的均匀性。; 谢 谢 ！