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- 2021-09-26 发布于北京
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半导体制造 knowhow 要点小结
2021 年 8 月
目录
1．集成电路的制造工艺整体流程 2
2. 超净环境 3
3. 集成电路使用的材料4
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4. 半导体中的薄膜制备过程5
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5. 光刻工艺 15
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6. 干法刻蚀和湿法腐蚀 26
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7. 扩散工艺 30
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