电力电子技术课件：第5章压力测量.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 减小了非线性误差 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 插入图4.2.4及4.2.5。 * 插入图4.2.4及4.2.5。 * * * * * * * 插入图4.2.4及4.2.5。 * * 信号与测试技术 * p 5.6.4 压电式压力传感器 一、膜片式压电压力传感器 两片晶片并联连接 压力 膜片 约零点几～几μm变形量 传力块 石英晶片 高音速材料 壳体及后座刚度要大 电荷输出 力 力 优点 较高的灵敏度和分辨率；有利于小型化。 缺点 预压缩应力是通过拧紧芯体施加的，存在输出不稳定。 * 信号与测试技术 * 5.6.4 压电式压力传感器 二、预紧筒加载的压电式压力传感器 施加预压缩应力，在加载状态下用电子束焊将预紧筒与芯体焊成一体。 焊接薄膜片到壳体上。 输出稳定； 预紧筒外围的空腔内可以注入冷却水，用于较高的环境温度。 薄壁厚底的金属圆筒。 优点 * 信号与测试技术 * 三、活塞压电式压力传感器 5.6.4 压电式压力传感器 压力 集中力 活塞 压电晶体 电荷输出 微变形 压电晶体电荷量 压电晶体电容量 压电晶体两极板间的漏电阻、引线间的绝缘电阻和传感器的负载电阻等形成的等效电阻 清洗、干燥并重新装配，十分不便，频率特性不理想。 缺点 * 信号与测试技术 * 5.+ 霍尔式压力传感器 —— 补充内容 霍尔效应 灵敏度 霍尔式压力传感器 霍尔元件 压力 B 霍尔元件 弹性元件 电量 位移 * 信号与测试技术 * 5.9 谐振式传感器及压力测量系统（编号与讲义不同） 5.9.1 谐振的概念 5.9.2 谐振子的机械品质因数Q值 5.9.3 谐振式测量原理 5.9.4 谐振式压力传感器 一、谐振弦式压力传感器 二、振动筒式压力传感器 三、谐振膜式压力传感器（不讲） 四、石英谐振梁式压力传感器 五、硅谐振式压力微传感器（不讲） * 信号与测试技术 * 谐振现象 5.9.1 谐振概念 理论上，当振动系统的振动频率等于系统的谐振频率ωr(ωn≥ωr)时，系统的幅值增益达到最大值，此时称系统进入谐振状态。 ?r 二阶系统归一化响应幅频特性曲线 * 信号与测试技术 * 5.9.1 谐振概念 工程上，将系统的幅值增益达到最大值时的状态定义为谐振状态。相应的激励频率定义为系统的谐振频率，谐振频率接近于谐振元件的固有频率。 谐振频率 谐振幅值 谐振幅角 单自由度振动系统 * 信号与测试技术 * 谐振式传感器： 以谐振元件作为敏感元件而实现的传感器，称为谐振式传感器。 谐振元件通常有：谐振梁、复合音叉、谐振筒、谐振膜、谐振半球壳、弹性弯管等。 5.9.1 谐振概念 系统固有频率与等效质量和刚度有关，与阻尼比系数无关，即固有频率是与阻尼系数无关的量，故具有相当高的稳定性； 而系统的谐振频率与固有频率不同，它与阻尼比系数有关。 从测量角度讲，固有频率与谐振频率的差别越小越好。 * 信号与测试技术 * 5.9.2 谐振子的机械品质因数Q 为了描述谐振子谐振状态的优劣程度，引入机械品质因数Q值。 定义： * 信号与测试技术 * Q值的实际求法一： 对于弱阻尼系统： 5.9.2 谐振子的机械品质因数Q 求法二：利用幅频特性获得Q值 半功率点 * 信号与测试技术 * Q值的物理意义： Q值反映了谐振子振动中阻尼比系数的大小及消耗能量快慢的程度； 反映了幅频特性曲线谐振峰陡峭的程度，即谐振敏感元件选频能力的强弱。 5.9.2 谐振子的机械品质因数Q Q值越高，每个振动周期由阻尼消耗的能量越少，系统储能效率越高，系统抗外界干扰能力越强； Q值越高，表明谐振子的谐振频率与固有频率越接近，系统选频特性越好，系统振动越稳定，重复性好。 应采取各种措施提高谐振子的Q值。这是设计谐振式测量系统的核心问题。 * 信号与测试技术 * 5.9.3 谐振式测量原理 1、谐振式测量原理基本实现方式 R：为谐振敏感元件，又称谐振子。它是测量系统的核心部件，工作时以其自身固有的振动模态持续振动。谐振子的振动特性直接影响着谐振式测量系统的性能。谐振子有多种形式：如谐振梁、复合音叉、谐振筒、谐振膜、谐振半球壳、弹性弯管等。 * 信号与测试技术 * 5.9.3 谐振式测量原理 1、谐振式测量原理基本实现方式 D，E：分别为信号检测器和激励器，它们分别是实现机电、电机转换的必要手段，为组成谐振式测量系统闭环自激系统提供条件。常用的激励方式有：电磁、