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精选文档 . acceptance testing (WAT: wafer acceptance testing) acceptor: 受主，如B，掺入Si中需要接受电子 Acid：酸 Active device：有源器件，如MOS FET〔非线性，可以对信号放大〕 Align mark(key)：对位标记 Alloy：合金 Aluminum：铝 Ammonia：氨水 Ammonium fluoride：NH4F Ammonium hydroxide：NH4OH Amorphous silicon：α-Si，非晶硅〔不是多晶硅〕 Analog：模拟的 Angstrom：A〔1E-10m〕埃 Anisotropic：各向异性〔如POLY ETCH〕 AQL(Acceptance Quality Level)：接受质量标准，在肯定采样下，可以95%置信度通过质量标准〔不同于可靠性，可靠性要求肯定时间后的失效率〕 ARC(Antireflective coating)：抗反射层〔用于METAL等层的光刻〕 Argon(Ar)氩 Arsenic(As)砷 Arsenic trioxide(As2O3)三氧化二砷 Arsine(AsH3) Asher：去胶机 Aspect ration：形貌比〔ETCH中的深度、宽度比〕 Autodoping：自搀