扩散硅压阻式压力传感器差压测量..docVIP

扩散硅压阻式压力传感器差压丈量. 扩散硅压阻式压力传感器差压丈量. PAGE / NUMPAGES 扩散硅压阻式压力传感器差压丈量. 扩散硅压阻式压力传感器差压丈量 一、实验目的： 认识利用压阻式压力传感器进行差压丈量的方法。 二、基来源理： 压阻式压力传感器的硅膜片遇到两个压力 P1 和 P2 作用时由 于它们对膜片产生的应力正好相反，所以作用在压力膜片上是 P=P1-P2，进而 能够进行差压丈量。 三、需用器件与单元： 压力源 (已在主控箱 )、压力表、压阻式压力传感器、 压力传感器实验模板、流量计、三通连结导管、数显单元、直流稳压源± 4V、 15V、压力气囊。四、实验步骤： 请学员们自拟一个差压丈量的方法。