培训系列之真空技术概况.pptxVIP

真空技术概况主讲人：巴德纯东北大学第八期《真空技术》培训系列之一. 真空技术概况 （巴德纯）二. 真空工程理论基础 （张世伟）三. 干式真空泵原理与技术基础 （巴德纯）四. 真空系统组成与设计基础 （刘坤）五. 真空获得设备原理与技术基础 （张以忱）六. 真空测量技术基础 （刘玉岱）七.真空镀膜技术基础 （张以忱）八. 质谱原理与真空检漏 （刘玉岱）九. 真空冶金技术基础 （王晓冬）十. 真空与低温技术及设备 （徐成海）真空技术概况一.前言 二.真空的概念与真空技术的发展三.真空技术的应用 四.结束语一.前言 前 言“真空技术”作为独立的学科体系，诞生于19世纪末20世纪初。20世纪中期，随着电子器件、原子能、航天技术对真空条件的需求，推动了真空技术的长足进步。 真空技术的开创与发展现在，在我们身边利用真空技术的日用品到处可见。例如真空保温杯，保温饭盒，暖水瓶；在食品方面就更多了，如真空罐装液体，真空挤奶，真空干燥食品，真空包装，真空炸制食品等，举不胜举。 前 言真空包装机压差力的利用如电除尘器，高楼擦玻璃的机器人，板材的运输等（如Al板、Cu板、玻璃板的运输）。 前 言家用吸尘器玻璃板的运输电子管和电视显像管（电子束管），利用绝热效果的不锈钢制的罐、杯、碗，真空包装食品，真空下使之干燥的食品等为代表的物品。 前 言电子管真空保温杯，保温饭盒另一方面，直接利用真空的制品也有很多，真空蒸发和真空涂层技术制作的透镜、玻璃、反射镜、太阳能电池、各种LSI（大规模集成电路）等。 前 言相机镜头太阳能电池现在最尖端的科学技术的进展，很多受真空技术所支配的。人类的最终的能源是核聚变，探索物质结构的大型粒子加速器，今后会更加发展，预期航天技术等大科学中适用高度的真空技术，再有超晶格等新材料的合成，真空技术是不可缺少的。 前 言粒子加速器托克马克装置真空技术是和这些最尖端的科学技术相辅相成发展的。例如热聚变的研究需要有超高真空环境、容积100m3以上的真空容器的制造，真空度有很大提高。现在10-11Pa的极高真空很容易去获得。这样一来，真空技术从日用到最尖端的科学技术得以广泛的适用。 前 言真空技术与尖端技术结合在此，首先说明真空的概念及其发展经过，其次叙述真空的获得技术和检测技术的要点，最后对所有的真空应用领域加以具体实例来说明。与真空有关的作为大科学的核聚变、大型加速器和宇宙航天技术，这些简要的加以说明。 前 言二.真空的概念与真空技术的发展真空的概念与真空技术的发展2.1 何谓真空 2.2 真空技术的历史2.3 真空的获得和测量技术 2.1 何谓真空真空的概念与真空技术的发展真空的定义: 比大气压低的压力状态，不是任何东西都没有的虚无的空间。从比大气压（约105Pa）低的状态到虚无的绝对真空（0Pa）为止的宽广的领域。 表示真空的程度的基准是必要的。压力和温度分别为1个标准大气压、0℃时，1摩尔的气体分子有22.4升的体积存在的场合，把它称为标准状态。作为表示真空的单位，现在用Pa（帕斯卡）作为单位，原来的是用Torr（托）作为真空的单位，现在均统一用Pa。 Pa与Torr的关系如下：真空的概念与真空技术的发展1Torr=133Pa 760Torr=105Pa从地表向上的高度的真空度如图1所示。宇宙飞船飞行的压力约为10-5Pa，月亮与地球中间的压力约为10-7Pa，然而在银河系的边界（边缘）处的压力为10-14Pa。真空的概念与真空技术的发展图1 地表以上的真空度 2.2 真空技术的历史近代科学的开花期的17世纪，托里拆利、波义耳和哥里克等人建立了空气动力学法则和真空泵的开发。真空的概念与真空技术的发展表1所示为第二次世界大战以前真空技术的历史。年作者科学技术1643年托里拆利760mmHg上的真空1650年帕斯卡大气压力随高度而变化，活塞式真空泵1654年波义耳定律理想气体的压力与体积的关系1738年Bernoulli气体分子运动论1775年Lavoisier大气的空气是N2和O2的混合物1802年盖吕萨克定律气体体积温度定律1810年Medhurst第一条真空邮递线1811年阿佛加德罗气体恒定的分子密度1843年Samuda第一条真空铁路（都柏林）1850年Toepler汞柱真空泵1859年Maxwell气体分子速度分布定律真空的概念与真空技术的发展年作者科学技术1865年Sprengel汞滴下真空泵1874年Mcleod压缩式真空计1879年Edison碳丝白炽灯1879年Crookes阴极射线管1878年W.Gaede在德国诞生1881年Van der Waals真实气体状态方程1893年Dewar真空绝缘瓶1902年Fleming真空二