第六章透射电子显微镜结构.pptxVIP

第六章 透射电子显微镜结构; 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。;;第一节 透射电子显微镜的结构 第二节 透射电镜的主要部件 第三节 透射电镜的发展;第一节 透射电子显微镜的结构;;;一、照明系统;1、电子枪;灯丝;电子枪 （a）自偏压回路 （b）电子枪内的等电位面;图（a）为电子枪的自偏压回路，起限制和稳定束流的作用。 负的高压直接加在栅极上，而阴极和负高压之间因加了一个偏压电阻，使栅极和阴极???间有一个数百伏的电位差。因为栅极比阴极电位值更负，所以可以用栅极来控制阴极的发射电子有效区域。当阴极流向阳极的电子数量加大时，在偏压电阻两端的电位值增加，使栅极电位比阴极进一步变负，由此可以减小灯丝有效发射区域的面积，束流随之减小。若束流因某种原因而减小时，偏压电阻两端的电压随之下降，致使栅极和阴极之间的电位接近。此时，栅极排斥阴极发射电子的能力减小，束流又可望上升。 图（b）反映了阴极、栅极和阳极之间的等电位面分布情况。由于栅极的电位比阴极负，所以自阴极端点引出的等位面在空间呈弯曲状。 在阴极和阳极之间的某一点，电子束会集成一个交叉点，这就是通常所说的电子源。交叉点处电子束直径约几十微米。;进展;场发射电子枪示意图;;2、聚光镜;双聚光镜系统光路;二、成像系统;1、透射电镜成像原理;阿贝成象原理;电磁透镜成像和光学透镜成像一样可分为两个过程：;2、物镜;物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。一般来说，极靴的内孔和上下极靴之间的距离越小，物镜的分辨率就越高。 为了减少物镜的球差，往往在物镜的背焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑不仅具有减少球差，像散和色差的作用，而且可以提高图像的衬度。此外，物镜光阑位于后焦面的位置上时，可以方便的进行暗场及衬度成像的操作。 在用电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间的距离总是固定不变的（即物距L1不变）。因此改变物镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f 和 L2）来满足成像条件。 ;3、中间镜;成像系统光路 （a）高倍放大操作 （b）电子衍射操作;4、投影镜;高性能的透射电镜大都采用5级透镜放大，即中间镜和投影镜有两级，分第一中间镜和第二中间镜，第一投影镜和第二投影镜。;三、观察与记录系统;四、真空系统;新式的电子显微镜中电子枪、镜筒和照相室之间都装有气阀，各部分都可单独地抽真空和单独放气。因此，在更换灯丝、清洗镜筒和更换底片时，可不破坏其它部分的真空状态。;五、电源与控制系统;第二节 透射电镜的主要部件;样品铜网放大像;1、样品平移与倾斜;2、侧插式样品倾斜装置;所谓“侧插”就是样品杆从侧面进入物镜极靴中。 主体部分是一个圆柱分度盘，它的水平轴线x-x和镜筒的中心线z垂直相交，水平轴就是样品台的倾斜轴，样品倾斜时，倾斜的度数可直接在分度盘上读出。 主体以外部分是样品杆，前端可装载铜网夹持样品或直接装载直径为3mm的圆片状薄晶体样品。样品杆沿圆柱分度盘的中间孔插入镜筒，使圆片样品正好位于电子束的照射位置上。 分度盘是由带刻度的两段圆柱体组成，其中一段圆柱Ⅰ的一个端面和镜筒固定，另一段圆柱Ⅱ可以绕倾斜轴线旋转。圆柱Ⅱ绕倾斜轴旋转时，样品杆也跟着转动。如果样品上的观察点正好和图中两轴线的交点O重合时，则样品倾斜时观察点不会移到视域外面去。为了使样品上所有点都能有机会和交点O重合，样品杆可以通过机械传动装置在圆柱分度盘Ⅱ的中间孔内作适当的水平移动和上下调整。;有的样品杆本身还带有使样品倾斜或原位旋转的装置。这些样品杆和倾斜装置组合在一起就是侧插式双倾样品台和单倾旋转样品台。 目前双倾样品台是最常用的，它可以使样品沿x轴和y轴倾转±45°。 在晶体结构分析中，利用样品倾斜和旋转装置可以测定晶体的位向、相变时的惯习面以及析出相的方位等。;;二、电子束倾斜与平移装置;新式的电子显微镜都带有电磁偏转器——可以使入射电子束平移和倾斜。 上、下两个偏转线圈是联动的。 如果上、下偏转线圈偏转的角度相等但方向相反，电子束会进行平移运动。 如果上偏转线圈使电子束顺时针偏转θ角，下偏转线圈使电子束逆时针偏转θ+β角，则电子束相对于原来的方向倾斜了β角，而入射点的位置不变。 利用电子束原位倾斜可以进行所谓中心暗场成像操作。;三、消像散器;四、光阑;光阑;1、聚光镜光阑;2、物镜光阑;3、选区光阑;第三节 透射电镜的发展;;;;二、高分辨透射电子显微镜;三、加速电压不断提高;超高压电镜;总结;二、TEM的主要部件;作业