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电子级三氯氧磷的现状及应用前景 电子级三氯氧磷的现状及应用前景 卓创资讯 本网编辑 采编于：2012-8-22 8:44:03 卓创资讯 本网编辑 采编于：2012-8-22 8:44:03 一、简介 一、简介 1、基本用途 1、基本用途 电子级三氯氧磷 (6N、7N)，又称高纯三氯氧磷，主要用于集成电路 (IC)生产和晶硅太 电子级三氯氧磷 (6N、7N)，又称高纯三氯氧磷，主要用于集成电路 (IC)生产和晶硅太 阳能电池精细加工中 PN 结制作的掺杂剂，作为五价元素磷 (P)扩散源。磷源有多种，气体 阳能电池精细加工中 PN 结制作的掺杂剂，作为五价元素磷 (P)扩散源。磷源有多种，气体 源主要是磷烷 (PH3)，固体源主要是五氧化二磷 (P2O5)，液体源主要是三氯氧磷 (POCl3)。 源主要是磷烷 (PH3)，固体源主要是五氧化二磷 (P2O5)，液体源主要是三氯氧磷 (POCl3)。 它的纯度对集成电路 (IC)和多晶硅太阳能电池的成品率、电性能等都有着重要的影响，因 它的纯度对集成电路 (IC)和多晶硅太阳能电池的成品率、电性能等都有着重要的影响，因 此对三氯氧磷产品中金属杂质有严格的要求。 此对三氯氧磷产品中金属杂质有严格的要求。 电子级三氯氧磷也可以作为光纤加工过程中信号传输性能改进剂，除对金属杂质有严 电子级三氯氧磷也可以作为光纤加工过程中信号传输性能改进剂，除对金属杂质有严 格要求外，对其中有机烃氢也有严格的要求。 格要求外，对其中有机烃氢也有严格的要求。 在医药合成中，因医药对许多重金属杂质都有严格要求，所以电子级三氯氧磷作为氯 在医药合成中，因医药对许多重金属杂质都有严格要求，所以电子级三氯氧磷作为氯 离子的来源，也得以大量使用。 离子的来源，也得以大量使用。 2、物化特性 2、物化特性 理化性质： 理化性质： Ø 无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味，有毒性和腐蚀性。 Ø 无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味，有毒性和腐蚀性。 Ø 易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸，遇到大量水时会发生爆炸。 Ø 易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸，遇到大量水时会发生爆炸。 Ø 熔点 1.25℃，沸点 102℃ Ø 熔点 1.25℃，沸点 102℃ Ø 相对水密度 1.675 Ø 相对水密度 1.675 Ø 蒸发热 33.7kJ/mol，接近 300℃时，仍很稳定 Ø 蒸发热 33.7kJ/mol，接近 300℃时，仍很稳定 二、制备工艺 二、制备工艺 电子级三氯氧磷的制备工艺路线主要有两种：一种是先将黄磷提纯至电子级后，制备 电子级三氯氧磷的制备工艺路线主要有两种：一种是先将黄磷提纯至电子级后，制备 高纯三氯化磷，再采用氯化水解法 (高纯氯气，金属含量小于 50PPB ;纯水)，制备电子级三 高纯三氯化磷，再采用氯化水解法 (高纯氯气，金属含量小于 50PPB ;纯水)，制备电子级三 氯氧磷;另一种是采用普通黄磷先制备工业级三氯氧磷，然后通过精馏提纯至电子级。比 氯氧磷;另一种是采用普通黄磷先制备工业级三氯氧磷，然后通过精馏提纯至电子级。比 较两种工艺路线制备的电子级三氯氧磷，在质量上以第一种工艺为优，国内威顿晶磷、湖 较两种工艺路线制备的电子级三氯氧磷，在质量上以第一种工艺为优，国内威顿晶磷、湖 北天湖均采用该工艺。 北天湖均采用该工艺。 三、质量指标 三、质量指标 国内迄今没有电子级三氯氧磷的国标准，产品质量和技术性能只能由客户单方面认 国内迄今没有电子级三氯氧磷的国标准，产品质量和技术性能只能由客户单方面认 定。下表是贵州威顿晶磷电子材料有限公司和湖北天湖化工有限公司的产品质量指标。 定。下表是贵州威顿晶磷电子材料有限公司和湖北天湖化工有限公司的产品质量指标。 表 1.威顿晶磷、湖北天湖电子级三氯氧磷质量指标 表 1.威顿晶磷、湖北天湖电子级三氯氧磷质量指标 检测 项 目技术指标 (ppb)检测 项 目技术指标 (ppb)