硅微谐振式加速度计实现及性能测试概要.docVIP

硅微谐振式加速度计的实现及性能测试概要 硅微谐振式加速度计的实现及性能测试概要 PAGE / NUMPAGES 硅微谐振式加速度计的实现及性能测试概要 ２８５ ８参考文献： 口１［］光学精密工程 第１卷８ ＺＯＳ Ｈ，Ｚ ＨＡ ＨＡＯ Ｙ ．Ｃ ｙｔｌ ｓｉ ａｏ Ｍ ］ ｒｓ ｃｌ ｔｒ［ ． ａＯ ｌ Ｂ ｉｎ ｅ ｉｇ：Ｓ ｉｎ ｅＰ ｅ ｓ ０ ８ （ｎＣｈｎ ｓ ） ｊ ｃｅ ｃ ｒｓ ，２ ０ ． ｉ ｉｅ ｅ ＨＯＰ ＮＳ Ｒ ＫＩ Ｅ，Ｂ ＯＲＥＮＳ ＴＥＩ Ｊ ．Ｔｈ ｉｃ ｎ Ｎ Ｆ ｅｓｌ ｏ ｉ ｏ ｃｌａ ｉ ｃ ｅ ｅｏｍ ｅ ｅ ：ａ ｓ ｉ ｔｎｇ ａ ｃ ｌｒ ｌ ｔ ｒ Ｍ ＥＭ Ｓ ｉ ｒｉｌｉ ｔｕ — ｎｅ ｔａ ｎｓ ｒ ［ ２ 施 芹 ， 安 萍 ， 岩 ， 硅 微 机 械 陀 螺 仪 的 机 械 耦 ９ 裘 苏 等． 合误 差分 析 ｒ ］ 光 学 精 密 工 程 ， ０ ８ １ （ ） ８ ３ － ． ｊ ２ ０ ，６ ５ ：９ — ８８．９ ｍｅ ｔ ｏ ｔ ｔｇｃｍｉ ｉ ｕ ｄ ｎ ｅ［ ］ ｈ ｓ ｎ ｒ ｒ ｅ ｉ ｓ ｌ ｇ ｉ ｃ ｃ ．Ｔ ｅ ｆ ｓａ ｓｅ ａ Ｍｉ — ｓｌ ｃｅ ｃｓＣ ｎ ｅｅ ｃ ，２ ０ ： ５ １ ｉｅＳ ｉｎｅ ｏ ｆ ｆｎ ｅ ０ ０ ４ ５ ． Ｓ ＨＩＱ，ＱＩ Ａ Ｐ，Ｓ Ｙ，ｅ １ ． Ｍ ｅ ｈ ｎ ｃ ｌｅ ｕ Ｕ Ｕ ｔ ． ａ ｃａ ｉ ｏ — ａ ［］ ２ ＳＥＯＫ Ｓ．ＫＩ ，ＣＨ Ｕ Ｎ ． Ａｎ ｉ ｒｉｌｇ ａ ａ— Ｍ Ｈ Ｈ ｎｅ ｔａ — ｒ ｄｅｆｔ ｐｉｇ ｅｒ ｒ ｏ ｉｃ ｎ ｍｉｒｇ ｒ ｓ０ ｅ ［ ］ Ｏ ｔ ｌ ｒ ｆ ｓ ｉ ｃ０ ｙｏ ｃ ｐ Ｊ ． ｐ ． ｎ ｏ ｌｏ Ｐ ｒ ｃｓｏ ｇ．，２ ０ ｅ ｉｉｎ Ｅｎ ０ ８，１ ６（５）： ８ — ９８ （ｉ Ｃｈ — ９３ ８ ． ｎｉ ｎｅ ｅ） ｓ ｅ ａｌ－ ｉｅ Ｍ ＥＭ Ｓ ｒ ｌｙ ｄｒｖ ｎ ｄｉｆ ｒｎ ｉ ｒ ｓ ｎａ ｔ ｃ ｅｅ — ｆｅ ｅ ｔａｌ ｅ ｏ ｎ ａ ｃ ｌｒ ｏ ｅｅ ｃ ．Ｉ Ｅ ｅ ｓｒ Ｃ ｎ ｅｅ ｃ ，Ｖ ｅ ｎ ， ｍ ｔｒ［ ］ Ｅ Ｅ Ｓ ｎｏ ｓ ｏ ｆ ｒｎ ｅ ｉ ａ ｎ ２ ０４： ５ — ５ ０ ６ ４ ６ ７． ［ ０ Ｒ Ｅ ＳＧ Ｔ Ａ，ＨＯ Ｅ Ｒ Ｔ，Ｐ Ｓ Ｏ Ａ Ｐ，ｅ １］ Ｏ ＳＩ Ｗ ＩＡＮ ｔ Ⅱ ． Ｓｕ ｆｃ ｉｒ ｍ ａ ｈｉ ｄ ｅ ｏ ｎ ａ ｅ ｌｒ ． ｒａｅｍ ｃ ｏ ｃ ｎｅ ｒ ｓ ｎａ ｔ ｃ ｅｅ ｏｍｅ — ［］ 裘安 萍 ， 瑞 芬 ， 芹． 微 谐振式加速度计结构设 ３ 庄施硅计与仿真［］中国? 技术学报， ０９１（）９ ７Ｊ．质性２０，７１：３９． Ｑ Ｉ Ａ ，ＺＨＵＮ Ｇ Ｆ， ＳＨ ＩＱ ． Ｓ ｒ ｃ ｕｒ ｓｇｎ Ｕ Ｐ Ｒ ｔ ｕ ｔ ｅ ｄｅ ｉ ｔｒ Ｃ ． ７Ｉｔｒａｉ ａ ｏｆ ｒｎ８ｏ ｏｉ一 ｅ ［ ］ １９ ｎｅｎｔ ｎ ｌ ｎ ｅｅｃ ｎ Ｓ ｌ ９ ｏ Ｃ ｄ ， Ｓｔ ｅ ａｔ Ｓｅ ｓ ｒ ａｎ Ａ （ ｕ ｏ ｓ， Ｃｈ （ ｎｏ ｓ ｄ ｔ ａｔ ｒ ａｇｏ．１ ７，６： ９９ ａ ｄ ｓｍｕ ａ ｉｎ ｏ ｃ ｏ ｃ ａ ｉａ ｓｌ ｏ ｓ ｉ ａ ｉ ｇ ｎ ｉ ｌｔ ｆ ｍｉｒ ｍｅ ｈ ｎ ｃ ｌ ｉ ｃ ｎ ｏ ｃｌ ｔ ｏ ｉ ｌ ｎ ８ ８ ．５９６２ ａ ｃｌｒｍｅｅ ［ ］ Ｊ ｕ ｎ ｌ ｏ （ ｉｅｅ ｎ ｒ ａ ｃｅｅｏ ｔｒ Ｊ ． ｏ ｒ ａ ， ＇ ｎ ｓ ｈ Ｉ ｅｔ ｌ ｉ Ｔｅ ｈｎ ｌ ｇｙ ，２ ｃ ｏｏ ００９， ７ （１ ９３ ９ １ ）： — ７．（ ｎ Ｃｈｉ ｅ ｅ ｉ ｎｓ） ［ １ ＪＡＹＢ １ ］ Ｉ ，ＨＡ（ Ｙ Ｉ， ＨＡＮ ．Ｄ ｕ ｌ ｔ ｎｎ — ） Ｚ Ｇ Ｒ ｏ ｂｅ ｕ ｉｇ ｆｒ ｅｏ ａ ｔ ｃｅｅｏ ｔｒ ［ ． Ｉ ｏ ｋ ｒｓ ｎ ｎ ａｃ ｌｒ ｍｅｅ Ｊ］ ＥＥＥ ｅ ｓｒ Ｓ ｎ ｏ Ｊ ｕ ｎ ｌ ０ ４ ４８：８２ １ １ ． ｏ ｒ ａ ，２ ０ ， （ ） １ １ － ８ ５ Ｅ］庄瑞芬．微谐振式加 速度计结构设计技术研究 ４ 硅［］南京：京理工大学，０９ Ｄ．南２０． ＺＨＵＮＧ Ｆ． Ｓｔ ｕ ｕ ｅｄｅ ｉ １ ｓｌ ｏｌＭ ＥＭＳＲ ｒ ｃ ｒ ｓｇｎ ｏ ｉｉ ｉ ｔ ￣ ， ［ ２ ＷＯＣＥＨ Ｏ Ｓ １］ＪＩＣＷＫＩＥ，ＢＥ ＫＯＳＲＢ Ｅ，ＰＳＯＩＡ Ｎ Ａ Ｐ． Ａ ＥＭ Ｓ ｒ ｓ ａ ｔａ ｎ ｓ ｎ ｏｒｏ