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洁净室的性能测试培训教材 （一）洁净室性能测试的目的 （二）洁净室性能测试的内容 （三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表 （四）洁净室性能测试的方法 (一) 洁净室性能测试的目的 洁净室性能测试的目的主要有两项：其一是为了洁净室的竣工验收，其二是为了检查洁净室的运行是否正常。 净室竣工验收的性能测试 根据（洁净室施工及验收规范）和（洁净厂房设计规范）的要求，洁净室竣工验收分两步进行，第一步是竣工调试和性能测试，第二步是洁净室性能的综合评价。洁净室性能的综合评价是洁净室工程竣工验收的重要环节，而洁净室性能测试又是洁净室性能综合评价的基础。洁净室性能测试所需要测试的项目以下： ①通风机的风量和转数； ②风量及其平衡； ③室内静压及其调整； = 4 \* GB3 ④自控系统的联动； = 5 \* GB3 ⑤高效过滤器的检漏； = 6 \* GB3 ⑥室内的洁净度；等六项。其中主要三项是，洁净度，风量和室内静压。 2、洁净室运行状态下的定期性能测试 根据（洁净厂房设计规范）的要求，因生产的复杂性和维护管理工作的主，客观原因造成洁净室性能的下降，必须对洁净室进行定期的性能测试，检测的频数见下表。 表十四 洁净室性能测试的内容和频数 洁净度等级 项目 1~3 4、5、6 7 8、9 温度 循环监测 每班二次 湿度 循环监测 每班二次 压差值 循环监测 每周一次 每月一次 洁净度 循环监测 每周一次 每3个月一次 每6个月一次 风量 循环监测 不得超过12个月 （二）洁净室性能测试的内容 表十五 洁净室检测内容 序号 测试项目 JGJ71-90规定 GB50073-2001规定 低于100级 100级 1000级及以下 1 室内送风量，系统总风量，室内排风量， 检测 检测 2 静压差 检测 检测 3 风速和风量 检测 不测 检测 4 断面风速不均匀度 检测 必要时测 不测 未规定 5 洁净度级别 检测 检测 6 浮游菌和沉降菌 必要时测 选测 7 室内温度和室内相对湿度 检测 选测 8 温湿度波动范围和区域温差 必要时测 未规定 9 室内噪声级 检测 选测 10 室内倍頻程声压级 必要时测 选测 11 室内照度及其均匀度 检测 选测 12 室内微振 必要时测 必要时测 13 表面导静电性 必要时测 必要时测 14 室内气流流型 不测 必要时测 选测 15 流线平行度 检测 必要时测 不测 必要时测 16 自净时间 不测 必要时测 必要时测 选测 17 过滤器安装检漏 未规定 选测 18 污染泄漏 未规定 选测 （三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表 （三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表 1、风压测试仪器：主要用于测定洁净室之间和洁净与非洁净区之间微压差，也可利用压差法测量风速，计算风量。 ①液体压力计：液体压力计具有使用方便、价格低廉、精确度较高、制造安装方便等优点，但有测量范围受限制、玻璃管易碎等缺点。 常用的工作液体有：酒精、水、水银等，在洁净室测量中主要是酒精和水。 液体压力计主要有：U型管压力计、斜管压力计、补偿式压力计。 ②弹簧压力计：弹簧压力计是根据弹簧元件在所测压力作用下发生变形，其变形量与所测压力成函数关系这一原理制成的，其优点是构造简单、便于携带、安装方便、价格低廉。 常用的弹簧压力计主要有：弹簧管压力计、膜片管压力计和膜核压力计。 = 3 \* GB3 ③电学压力计：电学压力计是利用压电原理或高压下电阻变化等电学方法来测定压力的压力计，适用于测量变化极快、数值很高或近乎绝对真空时的压力。 2、风速和风量测试仪器： 风速测量仪的作用原理有：机械式、散热率式和动力测压式等。 a．机械式风速仪：如翼形风速仪，它是利用流动气体的原动压推动机械装置来显示其流速的仪表。 b．散热率式风速仪：是根据流体中受热物体的散热率与流体流速成正比关系制成，测定传感器的散热率，即能测到流体的流速。 常用的散热率式风速仪有：热线风速仪和热球风速仪等。 ②风量测量仪：在洁净室中总风量的测试常用风管法，各房间送回风量多用风口法进行测量，其原理为平均风速乘以断面面积。 = 3 \* GB3 ③洁净度测试仪： a．尘埃粒子的检测仪表：目前洁净室洁净度的检测主要用光散射尘埃粒子计数器，它又分为白只光尘埃粒子计数器和激光尘埃粒子计数器。 它的原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中的微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系来测量微粒粒径的大小。 b．生物粒子的检测仪表：目前生物粒子的检测方法主要有采用培养基法和滤膜法，所用的仪器分浮游菌采样器和沉降菌采样器。 浮游菌采样器主要有：固体撞击式采样器、离心式空气微生物采样器、气旋式微生物采样器、液体冲击式微生物