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功率集成电路技术进展 摘要： 本文介绍了功率集成电路的发展历程、研究现状和未来发展趋势。 关键字： 功率集成、智能功率集成电路、高压功率集成电路、智能功率模块、集成功率技术、集成功 率应用 1 引言 功率电子系统通常包含三个组成部分 :第一部分是信号的采集、输入与放大电路；第二 部分是信号处理电路，用来产生功率开关电路的控制信号；第三部分是功率开关电路，用 来控制负载工作。将一个完整功率电子系统电路的一部分制造在一个半导体芯片上就形成 了功率集成电路 (Power IC, PIC) [1] 。 PIC 是电力电子器件技术与微电子技术相结合的产物，是机电一体化的关键接口元件， 也是 SoC 的核心技术之一。功率集成电路是指将高压功率器件及其驱动电路、保护电路、 接口电路等外围电路集成在同一个芯片上的集成电路，是系统信号处理部分和执行部分的 桥梁。具体来说就是，采用一定的工艺，把一个功率电路中所需的晶体管、二极管、电阻、 电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然 后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。广义而言， PIC 是控制电路与 功率负载之间的接口电路，其最简单的电路包括电平转移和驱动电路，它的作用是将微处 理器输出的逻辑信号电平转换成足以驱动负载的驱动信号电平。由于 PIC 与分立器件构成 的功率电路相比具有成本低、可靠性高、体积小、低电磁干扰等一系列优越性，近些年来 获得了突飞猛进的发展。 2 功率集成电路发展历程 电力电子技术包括功率半导体器件与 IC 技术、功率变换技术及控制技术等几个方面， 其中电力电子器件是电力电子技术的重要基础，也是电力电子技术发展的“龙头”。由于 普通晶闸管不能自关断，属于半控型器件，因而被称作第一代电力电子器件。在实际需要 的推动下，随着理论研究和工艺水平的不断提高，电力电子器件在容量和类型等方面得到 了很大发展，先后出现了 GTR,GTO 、功率 MOSFET 等自关断、全控型器件，被称为第二 代电力电子器件。近年来，随着社会的不断发展，人们的需要不断上升，电力电子器件的 复合化、模块化及功率集成成为一种需要。 上世纪七十年代功率集成电路出现 [2] ，单芯片集成的 PIC 减少了系统的元件数、互连 数和焊点数，不仅提高了系统的可靠性、稳定性，而且减小了系统的功耗、体积、重量和 成本，这使得 PIC 马上受到大家广泛关注，随后的几十年中都一直是功率电子学界的研究 热点。但由于当时的功率器件主要为双极型晶体管、 GTO 等，功率器件所需的驱动电流大， 驱动和保护电路复杂，在七十年代 PIC 的研究并未取得实质性进展。上世纪八十年代，功 率 MOSFET, IGBT 等具有 MOS 栅控制、高输入阻抗、低驱动功耗、容易保护等特点的新 型 MOS 类功率器件出现，这使得驱动电路大为简化，迅速带动了 PIC 的发展，但复杂的 系统设计和昂贵的工艺成本仍旧限制了 PIC 的应用。进入九十年代后， PIC 的设计与工艺 水平不断提高，性能价格比也随之上升， PIC 逐步进入了实用阶段 [3] 。我国是全球最大的消 费类电子商品市场和生产基地，随着功率集成电路的发展，功率集成电路已被广泛应用于 开关电源、电机驱动、工业控制、汽车电子、日常照明和家用电器等方面。自 1981 年美国 试制出第一个 PIC 以来， PIC 技术获得了快速发展。今后， PIC 必将朝着高压化、智能化的 方向更快发展并进入普遍实用阶段。 3 功率集成电路分类 习惯上将功率集成电路分为高压功率集成电路 (HVIC), 智能功率集成电路 (SPIC) 和智能 功率模块 (IPM) 。HVIC 是多个高压器件与低压模拟器件或逻辑电路在单片上的集成，由于