干膜之迷思正稿.ppt

報告人﹕姚濤;報告目的;報告大綱;第一部份:乾膜基礎篇;乾膜的起源及發展; polyethylene;各層功能; polyethylene;隔離感光性高分子 沾黏至其他聚酯層 又稱隔離層(separator Sheet );感光層（Photo resist）主要組成;乾膜的製作;評估項目;評估項目;乾膜評估項目;第二部份: 乾膜應用篇;乾膜應用流程;表面處理(Surface Preparation);表面處理 (Surface Preparation);表面處理(Surface Preparation);表面處理(Surface Preparation);表面處理(Surface Preparation);壓膜(Lamination);壓膜(Lamination);曝光(Exposure);曝光(Exposure);影響曝光之因素;顯像(Development);; 影響参數: 顯影點 (Break-point) 顯影液溫度 (Temperature) 乾膜負荷量 (Resist Loading) 乾膜類型及厚度 (Dry Film Type and Thickness) 碳酸鹽濃度 (Carbonate Concentration) 酸鹼值 (pH Value) 消泡劑含量 (Antifoam) 噴射壓力及形狀 (Spray Pressure and Patte