蚀刻速率的影响因素及操作.ppt

蚀刻速率影响因素;影响蚀刻速率的因素;蚀刻原理;比重对蚀刻速率的影响;现蚀刻工艺的比重设定值为1.30。 在现有的条件基础上，提高比重到1.305-1.31之间，可提高单位时间的蚀刻速率。;ORP值对蚀刻速率的影响;蚀刻温度对蚀刻速率的影响;蚀刻温度改变的其他影响;游离盐酸量对蚀刻速率的影响; Cl-提高蚀刻速率的原因 CuCl+2Cl-=(CuCl3）2- 提高Cl-浓度可显著提高蚀刻速率。; ;不同浓度的游离酸的影响; chemcut给的蚀刻参数 ORP 540mv to 560mv 游离酸 1N to 2N 比重 32?Be (1.28) to 34?Be(1.31) 温度 130?F(54?C) 实际使用数值 ORP 550±20mv 游离酸 1.45N（配槽值）屏显值 1.15N 比重 1.28 to 1.30 温度 130?F(54?C) 其他资料数值 ORP 530mv 游离酸 6N（2-3N） 比重 1.300 温度 40?C to 55?C;检测方法;药水的喷压;蚀刻提速可能调节的参数;蚀刻提速的局限性;蚀刻速度调节测试操作