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PAGE PAGE 1 电子显微镜系统的制作方法 1.本技术涉及电子显微镜技术领域，特殊是涉及一种电子显微镜系统。背景技术：2.电子显微镜是重要的科学仪器，在材料科学，生命科学，半导体工业等领域发挥着巨大的作用。电子显微镜通常可以分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜。普通来讲，透射电子显微镜还可以拥有扫描透射的功能，是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，在扫描的过程中，通过收集透射薄样品的电子束信息，以达到物质微观形貌表征的目的。尽管显示出样品的微观详情能够满足人们的需求，但是效率(即单位时光可以扫描的图像面积)太低。并且现有的电子显微镜普通仅支持单个样品的扫描，并且不能同时有效收集扫描样品的透射信息。3.针对上述的现有技术中存在的现有的电子显微镜仅支持单个样品的扫描，并且扫描效率低以及无法同时收集扫描样品的透射信息的技术问题，目前尚未提出有效的解决计划。技术实现要素：4.本藏匿提供了一种电子显微镜系统，以起码解决现有技术中存在的电子显微镜仅支持单个样品的扫描，并且扫描效率低以及无法同时收集扫描样品的透射信息的技术问题的技术问题。5.按照本技术的一个方面，提供了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束对样品举行扫描，包括：多电子束形成子系统以及多电子束扫描子系统。其中偏转器多电子束形成子系统用于形成多个电子束，偏转器多电子束扫描子系统用于将偏转器多个电子束投射至样品。并且其中，偏转器多电子束扫描子系统包括偏转器模组，偏转器偏转器模组通过施加的电场和/或磁场转变偏转器电子束的轨迹，对样品举行扫描。6.按照本技术的另一个方面，提供了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束对样品举行扫描，包括：多电子束形成子系统以及多电子束扫描子系统，其中多电子束形成子系统用于形成多个电子束，多电子束扫描子系统用于将多个电子束投射至样品，并且其中，多电子束扫描子系统包括：聚焦透镜模组阵列、电子束闸阵列以及光阑。其中，聚焦透镜模组阵列设置于多电子束形成子系统下侧，用于将多个电子束聚焦在电子束闸阵列；以及电子束闸阵列设置于聚焦透镜模组阵列下侧，用于控制多个电子束中各个电子束的倾斜进而控制各个电子束穿过或偏离光阑的光阑孔。7.按照本技术的另一个方面，提供了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束对样品举行扫描，包括：设置于用于承载样品的样品载具下侧的多电子束收集子系统，其中多电子束收集子系统包括：投影镜模组以及设置于投影镜模组下侧的扫描透射探测器阵列。并且，投影镜模组用于将透过样品的电子束投射到扫描透射探测器阵列上；以及扫描透射探测器阵列包括多个自立探测器，用于分离收集透过样品的不同的电子束。8.从而按照本技术实施例提供的电子显微镜系统，通过多电子束形成子系统形成扫描样品的多个电子束，然后通过多电子束扫描子系统将多个电子束投射到样品上，对样品举行扫描。其中多电子束扫描子系统设置有偏转器模组，通过在偏转器模组施加电场或者磁场转变多个电子束的运动轨迹，达到对样品举行垂直投射扫描的技术效果。从而本技术的电子显微镜系统不仅可以形成对样品举行扫描的多个电子束，并且通过偏转器模组实现多个电子束垂直投射样品，进而可以比较充分得到样品的垂直投影信息，不失真的探测样品的结构信息，达到对样品举行高效扫描以及便于收集样品的透射电子信号的技术效果。并且通过多电子束收集子系统实现对扫描过样品的电子束举行收集，从而达到对样品的投射信息举行图像显示的技术效果。进而解决了现有技术中存在的现有的电子显微镜仅支持单个样品的扫描，并且扫描效率低以及无法同时收集扫描样品的透射信息的技术问题。9.按照下文结合附图对本技术的详细实施例的具体描述，本事域技术人员将会越发明白本技术的上述以及其他目的、优点和特征。附图解释10.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式具体描述本技术的一些详细实施例。附图中相同的附图标志标示了相同或类似的部件或部分。本事域技术人员应当理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：11.图1是按照本技术实施例所述的电子显微镜系统的暗示图；12.图2是图1所示电子显微镜系统通过电子闸束阵列控制各个电子束的倾斜的暗示图；以及13.图3是现有的扫描电子收集系统的暗示图。详细实施方式14.需要解释的是，在不矛盾的状况下，本藏匿中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来具体解释本藏匿。15.为了使本技术领域的人员更好地理解本藏匿计划，下面将结合本藏匿实施例中的附图，对本藏匿实施例中的技术计划举行清晰、完整地描述，明显，所描述的实施例仅仅是本藏匿一部分的实施例，而不是所有的实施例。基于本藏匿中的实施例，本事域一般技术人员在没有做出制造性劳动前提下所获得的全部其他实施例，都应该属于本藏匿庇护的范围。1