预清洗作业指导.pdf

文件名称 预清洗脱胶作业规程 页码 编制／日期： 审核／日期： 批准／日期： 1 适用部门： 硅片生产部 2 工具： 塑胶、手套、推车、百洁布、柠檬酸、酒精、刀片、柠檬酸槽 3 实施责任者： 车间主管 4 适用范围： 适用于切片后硅片预清洗脱胶作业 5 适用设备： 硅片预清洗装置、脱胶用温水槽 6 预清洗作业步骤与方法： 线切后将待洗硅棒小车推至清洗车间，预清洗员工与线切完成交接，核对工艺单，碎片数目；之后填写工艺单的 6.1 清洗时间（ 硅棒抬至预清洗机的时间点 ），以及硅棒的异常情况，由线切说明原因，最后完成交接。 预清洗时，首先检查水压单个槽位是否达到 0.08Mpa≤压力≤ 0.12Mpa （压力过小冲洗砂浆不干净，压力过大倒片 6.2 掉片 ）。并且预清洗设备槽位内垫上海绵，海绵的高度离硅片≤ 5-7cm。水管如果堵塞应及时清理。 先线切先冲洗的原则 晶棒先放入冲洗槽内先冲洗 .( 线切到预清洗槽控制的时间是 30 分钟，目的避免花片的产 6.3 生) 在确认硅棒无污水流下时， 工作人员将硅棒移至预清洗机槽中进行冲洗， 125mm单晶和多晶冲洗的时间 20 分钟 （无 需调节水管喷嘴方向 ）；156mm单晶和多晶冲洗 30 分钟（ 前 20min 冲洗时将水管喷嘴按“内八字型”；后 10min 6.4 冲洗将水管喷嘴调至下方继续冲 ） 6.5 冲洗过程中如有掉片，应及时将硅片取出放入柠檬酸槽中，碎片放在碎片盒中。 在此期间，填写小票，写明 P1和 P2 的晶体编号和长度、位置，放在工件板上，填写好工艺单上冲洗用时和操作 6.6 人的姓名 冲洗完过后，用手判断硅片是否晃动， 如非常摇晃则应在预清洗直接脱胶 。如不摇晃将硅棒取出，操作人员 2 人 6.7 双手交叉，在大水箱中完成翻棒动作。送至脱胶台中，硅棒应水平放置。 预清洗后，对现场进行“ 6S”处理，每班下班前应对预清洗设备里的碎片及时清理，集合放置在片盒里，等待清 6.8 洗人员清洗，烘片人员烘干。 如果在预清洗发现异常情况应及时通知工艺人员进行确认 脱胶作业步骤与方法： 6.11 预清洗后的晶棒放入 58±3℃脱胶温水槽中进行脱胶，工件板靠一侧放置，尾部靠近预留空间摆放，边缘靠边上。 将硅片之间用不锈钢钢条隔开， 4cm≤隔开的距离≤ 12cm；隔开的时候应注意，不要将钢条强行隔下去，造成崩边 6.12 等现象，而应适当调整位置，正好插入缝隙处。 6.13 脱胶台的水位高度，水面到玻璃的距离 ≤25mm±5mm。脱胶工序 3 人脱一刀棒， 1 人负责浇水， 2 人负责脱胶。 硅片表面的树脂条收集起来放到垃圾盒里，不可以直接掉入脱胶台里，脱胶时硅片应放置在冷水槽中进行脱胶， 每次取片≤ 4cm 并且将硅片表面的胶水用百洁布蘸酒精擦拭干净， 包括倒角处。 然后将硅片放入柠檬酸槽中， 碎片 6.14 放入碎片盒中 每个水槽放 100g 柠檬酸，水位不得低于标线位置，除了每个班次更换柠檬酸以后，当 PH值＞ 4 以后，也应及时换 6.15 水；脱胶台的水每 8 刀棒更换一次。 6.16 预清洗脱胶过程中发现异常情况应及时通知工艺进行确认 6.17 脱胶结束后按要求填写好工艺单，并将柠檬酸槽中和碎片盒一起交付给插片工序 6.18 整个过程应注意维持现场“ 6S”工作 记录：加工工艺单、预清洗产量记录、工艺试验通知单、联络单