单晶炉机械结构.pptxVIP

TDR85A-ZJS单晶炉的机械 结构与维修;背景 — 半导体生产流程;设 备 简 介;工艺过程;熔 料;引 晶;放 肩;等 晶;收 尾;TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉;整体结构尺寸;整体结构尺寸;接口尺寸;籽晶提升机构经过静平衡和动平衡测试 带称重传感器 快慢速双电机 外置限位调节 观测玻璃窗 光电编码计行程;晶体提升机构结构〔主视〕;晶体提升机构结构〔俯视〕;晶体提升腔拆装及调整;晶体提升腔拆装及调整;晶体提升腔拆装及调整;晶体提升腔拆装及调整;籽晶钢缆的对中;晶升离合器的调整;晶体提升机构维护周期表;坩埚提升机构;坩埚提升机构〔主视〕;坩埚提升机构〔俯视〕;坩埚提升机构拆装及调整;坩埚提升机构拆装及调整;坩埚提升机构维护周期表;翻板阀的调整;水平调整机构;副室旋转机构;氩气分流系统;真空系统;冷却水系统;采用光学系统将晶体图像分到2个独立CCD完成引晶、等径的单独控制。 图像处理速度快，引晶跟踪能力强，引晶效果好 机械调整简单;采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机构，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭，提高取晶的平安性； 采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，防止了采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患； 采用独特的氩气分流环结构，保证在拉晶过程中氩气气流的均匀性。; 谢 谢 ！;9、 人的价值，在招收诱惑的一瞬间被决定。7月-217月-21Sunday, July 11, 2021 10、低头要有勇气，抬头要有低气。12:21:0412:21:0412:217/11/2021 12:21:04 PM 11、人总是珍惜为得到。7月-2112:21:0412:21Jul-2111-Jul-21 12、人乱于心，不宽余请。12:21:0412:21:0412:21Sunday, July 11, 2021 13、生气是拿别人做错的事来惩罚自己。7月-217月-2112:21:0412:21:04July 11, 2021 14、抱最大的希望，作最大的努力。11 七月 202112:21:04 下午12:21:047月-21 15、一个人炫耀什么，说明他内心缺少什么。。七月 2112:21 下午7月-2112:21July 11, 2021 16、业余生活要有意义，不要越轨。2021/7/11 12:21:0412:21:0411 July 2021 17、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。12:21:04 下午12:21 下午12:21:047月-21