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射频放电等离子体过程 ------------------------------------------------------------------------------------------------ 射频放电等离子体过程 1、论文(设计)研究目标及主要任务 近些年来，等离子体的研究受到高度关注，由射频放电方式产生的低气压、高密度等离子体在新材料的制备及材料表面改性等工艺中得到了越来越广泛的应用，为了控制离子入射到极板上的行为，通常在极板上施加一射频(RF)偏压，从而在极板附近形成一射频等离子体鞘层。本课题将对离子在射频鞘层中的运动行为进行跟踪研究，力求找到等离子体中各基本粒子随射频频率变化而引起的分布情况。利用流体力学方程，将采用一个自洽的无碰撞射频等离子体鞘层动力学模型实施数值模拟。 2、论文的主要内容 介绍等离子体的概念;等离子体的流体力学理论;对射频等离子体放电的流体动力学模拟 射频等离子体鞘层动力学模型给予论述。对模拟结果进行分析研究，为其应用提供理论基础。 3、论文的基础条件及研究路线 根据现有的研究成果，描述任意频率段的射频鞘层演化过程以及对射频放电的物理过程进行分析计算,并指明今后的研究方向。 4、主要参考文献 [1] 居建华(氮对类金刚石薄膜的微观结构内应力与附着力的影响[J](物理学报，2000，49(11):2310-2314( [2] 马锡英(氮化硼薄膜的生长特性粘附性研究[J](物理学报，—————————————————————————————————————— ------------------------------------------------------------------------------------------------ 1998，304(05):3-101( [3] 戴忠玲(射频等离子体鞘层动力学模型[J](物理学报，2001，50(12):2399-2402( [4] Hua-Tan Qiu(Collisional effects on the radio-frequency sheath dynamics[J](Journal of applied physics，2002，51(06):1332-1337( [5] 朱武飚(负偏压射频放电过程的流体力学模拟[J](物理学报，2000，45(07):1138-1145( [6] 马腾才(等离子体物理原理[M](合肥市:中国科学技术大学出版社，1988:1-2 32( 指 导 教师: 高书侠 2011 年 1 月 2 日 I 教研室主任: 李玉现 2011 年 1 月 2 日 河北师范大学本科生毕业论文文献综述 II III IV 河北师范大学本科生毕业论文翻译文章 目 录 中文摘要、关键词????????????????????(?) —————————————————————————————————————— ------------------------------------------------------------------------------------------------ 1、引 言?????????????????????????(1) 2、等离子体的概 念????????????????????(2) 3、等离子体的流体力学理 论????????????????(2) 3.1双流体理论?????????????????????(2) 3.2单流体理论?????????????????????(3) 4、射频等离子体放电的流体动力学模 拟???????????(4) 4.1理论模型??????????????????????(4) 4.2数值结果与分析???????????????????(8) 5、射频等离子体鞘层动力学模型?????????????(10) 5.1理论模型??????????????????????(10) 5.2数值结果??????????????????????(12) —————————————————————————————————————— ------------------------------------------------------------------------------------------------ 6、结论????????????????????????(13) 参考文 献???????????????????????(15) 英文摘要、关键词????????????????????(16) V 摘要: 本文采用流体