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LED 衬底材料有哪些种类 对于制作 LED 芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用 哪种合适的衬底，需要根据设备和 LED 器件的要求进行选择。目前市面上一 般有三种材料可作为衬底： 蓝宝石（· Al2O3 ） 硅· (Si) 碳化硅（· SiC ） 蓝宝石衬底 通常， GaN 基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有 许多的优点：首先， 蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝 宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高， 易于处理和清洗。因此，大多 数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。图 1 示例了 使用蓝宝石衬底做成的 LED 芯片。 图 1 蓝宝石作为衬底的 LED 芯片 使用蓝宝石作为衬底也存在一些问题，例如晶格失配和热应力失配，这会在 外延层中产生大量缺 陷，同时给后续的器件加工工艺造成困难。蓝宝石是一 种绝缘体，常温下的电阻率大于